Độ ẩm khí thải với nguồn ô nhiễm cố định

Trong phương pháp giám sát khí thải thông thường, độ ẩm khí thải là một thông số quan trọng, đồng thời cũng là thông số khó đo chính xác nhất. Bản thân phép đo độ ẩm bị ảnh hưởng bởi các yếu tố khác (áp suất khí quyển, nhiệt độ), ngoài ra còn phải đối mặt với các vấn đề như nhiệt độ cao, bụi bẩn cao, độ ẩm cao, áp suất âm và ăn mòn.

Ngoài ra, việc hiệu chuẩn độ ẩm là một vấn đề khó khăn. Lý do là vì việc chế tạo máy tạo độ ẩm ở nhiệt độ cao rất khó, do đó ảnh hưởng đến phép đo độ ẩm của thiết bị đo trực tuyến. Để kiểm định và hiệu chuẩn thiết bị đo độ ẩm khí thải, cần phải có thiết bị có khả năng tạo ra nguồn độ ẩm chuẩn và chuẩn độ ẩm. Phương pháp đo độ ẩm có khả năng thực hiện phép đo độ ẩm tuyệt đối có thể được sử dụng làm chuẩn độ ẩm. Các loại khí có độ ẩm đã biết cũng có thể được sử dụng làm chuẩn độ ẩm. Tiêu chuẩn "Phương pháp lấy mẫu chất ô nhiễm dạng hạt và khí trong khí thải của nguồn ô nhiễm cố định" (GB/T16157-1996) quy định ba loại phương pháp đo độ ẩm khí thải: phương pháp ngưng tụ, phương pháp cân và phương pháp quả cầu khô-ướt, được sử dụng làm phương pháp tham chiếu để đo độ ẩm khí thải và có thể được sử dụng để hiệu chuẩn thiết bị đo độ ẩm khí thải. Thêm vào đó, máy tạo độ ẩm tạo ra độ ẩm không đổi ở nhiệt độ và áp suất nhất định, và nó cũng có thể được sử dụng để hiệu chuẩn máy đo độ ẩm khí thải.

1. Giới thiệu phương pháp đo độ ẩm khí thải

Phương pháp bóng khô-ướt

Ba phương pháp tham chiếu độ ẩm trong tiêu chuẩn GB/T16157-1996 không lý tưởng trong ứng dụng thực tế. Phương pháp cân và phương pháp ngưng tụ phức tạp, điều kiện thử nghiệm cao, thời gian thử nghiệm dài. Phương pháp quả cầu khô-ướt đơn giản, nhưng sai số lớn.

Vấn đề chính của việc đo độ ẩm khí thải bằng phương pháp quả cầu khô-ướt là nhiệt độ khí thải cao, thường cao hơn 100°C, nhưng nhiệt độ của quả cầu khô không thể đạt đến nhiệt độ khí thải thực tế.

Nhiệt độ thường nằm giữa nhiệt độ môi trường và nhiệt độ khí thải, dẫn đến sai số đo cố định. Zong Ningsheng cho rằng khi đo độ ẩm khí thải bằng phương pháp quả cầu khô-ướt, cần lưu ý các thao tác sau: Khi kim chỉ nhiệt độ ổn định và không tăng nữa thì có thể tiến hành đo (5-10 phút). Ống nối giữa ống lấy mẫu và nhiệt kế khô-ướt cần ngắn hơn, và thành ống không nên quá mỏng để tránh nhiệt độ khí thải giảm quá mức. Ở vùng khí hậu lạnh, nên sử dụng ống lấy mẫu có gia nhiệt.

Chang-Ai đã cải tiến nhiệt kế hình cầu khô-ướt và ống lấy mẫu khí thải được gia nhiệt để tránh các lỗi do khí thải đạt đến điểm sương và sự ngưng tụ hơi nước trong ống lấy mẫu.

Hình 1CI-PC39 Sơ lược

Dựa trên nhiệt độ khí thải thực tế tại điểm đo, bằng cách thay đổi nhiệt độ gia nhiệt của ống lấy mẫu, sự chênh lệch giữa nhiệt độ khí thải đi vào buồng quả cầu khô-ướt và nhiệt độ khí thải tại điểm lấy mẫu được loại bỏ. Độ chính xác và độ ổn định của máy đo độ ẩm quả cầu khô-ướt tự chế đã được kiểm tra bằng phương pháp quả cầu khô-ướt tiêu chuẩn và phương pháp cân. Kết quả cho thấy dữ liệu độ ẩm đo được bằng máy đo độ ẩm đáng tin cậy và hiệu quả, có độ nhạy cao đối với sự thay đổi độ ẩm của khí thải và có thể hoạt động liên tục và ổn định. Mặc dù phương pháp phun tia là nguyên lý hoạt động của quả cầu khô-ướt, nhưng nó không phải là một dụng cụ đo độ ẩm thông thường tương tự như dụng cụ đo độ ẩm tương đối của không khí được sử dụng bởi các cơ quan khí tượng. Dụng cụ đo độ ẩm này là một thiết kế hoàn toàn mới, thậm chí là một thiết kế cải tiến mới, để đạt được các kết quả đo nêu trên, hình ảnh sản phẩm tiêu biểu được thể hiện trong Hình 1.

Công nghệ đo lường của Chang-Ai đã được ứng dụng thành công trong các quy trình đo nhiệt độ và độ ẩm cao, cũng như các quy trình có khí ăn mòn và chứa bụi. Trong nhiều quy trình, để đảm bảo chất lượng sản phẩm, sử dụng năng lượng hiệu quả hoặc đạt được mục tiêu giảm phát thải, việc giám sát và kiểm soát độ ẩm khí trong quy trình là cần thiết. CI-PC39 là thiết bị đo độ ẩm quy trình đáp ứng các yêu cầu công nghiệp khắt khe nhất, bao gồm khả năng chống ăn mòn, hoạt động liên tục và không bị bám bẩn.

Phương pháp ngưng tụ

Nguyên lý của phương pháp ngưng tụ là lấy một lượng khí thải nhất định từ ống khói và cho đi qua bộ ngưng tụ, sau đó tính toán hàm lượng nước trong khí thải dựa trên lượng nước ngưng tụ và hàm lượng hơi nước trong khí bão hòa thoát ra từ bộ ngưng tụ. Nguyên lý của phương pháp cân là lấy một lượng khí thải nhất định từ ống khói để hơi ẩm trong khí thải được hấp thụ bởi ống hút ẩm thông qua chất hút ẩm, và trọng lượng của ống hút ẩm trong khí thải chính là lượng nước có trong một thể tích khí thải đã biết. Hai phương pháp này về nguyên lý tương tự nhau. Nồng độ khối lượng của độ ẩm trong khí thải được xác định trực tiếp bằng cách cân hàm lượng ẩm và chia cho thể tích mẫu, sau đó chuyển đổi nồng độ khối lượng thành phần trăm thể tích.

Phương pháp quả cầu khô-ướt dễ vận hành và có khả năng thích ứng cao. Đây là phương pháp tham khảo đo độ ẩm khí thải trực tuyến phổ biến. Phương pháp ngưng tụ và phương pháp cân có độ chính xác cao hơn, nhưng thử nghiệm phức tạp, đòi hỏi kỹ năng vận hành cao, thời gian thử nghiệm dài, và phương pháp này không phù hợp cho việc đo độ ẩm khí thải trực tuyến, chỉ có thể được sử dụng làm phương pháp trong phòng thí nghiệm và phương pháp đo trực tuyến để so sánh.

Phương pháp ức chế

Khi một chất được đặt giữa một cặp điện cực, điện dung giữa các điện cực sẽ thay đổi khi chất đó hấp thụ hơi nước. Hàm lượng ẩm trong khí thải có thể được xác định bằng cách đo sự thay đổi điện dung của vật liệu hấp thụ ẩm, phương pháp này được gọi là cảm biến độ ẩm điện dung. Thiết bị đo độ ẩm điện dung truyền thống gặp một số vấn đề về độ nhạy của cảm biến, hiện tượng trễ độ ẩm, hệ số nhiệt độ và độ ổn định lâu dài.

Sáng chế này liên quan đến một thiết bị đo độ ẩm khí thải nhiệt độ cao, chịu được thể tích, hoạt động trực tuyến, thuộc sản phẩm được cấp bằng sáng chế, là một thiết bị đo độ ẩm sử dụng phương pháp điện dung cải tiến, có khả năng chống ăn mòn tốt và độ nhạy cao. Nó sử dụng cảm biến độ ẩm điện dung màng polymer.

Là một cảm biến độ ẩm, cảm biến nhiệt điện trở bạch kim được sử dụng để bù nhiệt độ. Nguyên lý hoạt động được thể hiện trong Hình 1, hơi nước đi qua điện cực trên của cảm biến độ ẩm điện dung màng phân tử cao và đến màng polymer hoạt tính phân tử cao. Do kích thước cảm biến nhỏ và màng polymer rất mỏng, cảm biến có thể phản ứng nhanh với sự thay đổi độ ẩm của môi trường xung quanh.

Hình 2. Sơ đồ khối nguyên lý hoạt động của đồng hồ đo nước có điện trở và điện dung.

Hơi nước hấp thụ trong polyme làm thay đổi đặc tính điện môi của cảm biến và thay đổi giá trị điện dung của cảm biến, chuyển đổi tín hiệu đầu ra của cảm biến độ ẩm điện dung thành giá trị điện áp, và xuất ra tín hiệu điện áp nhiệt độ thông qua cảm biến nhiệt độ để thực hiện bù nhiệt độ tự động. Máy đo độ ẩm có thể đo hàm lượng nước trong phạm vi 0~20%±2% ở nhiệt độ khói ≤180°C.

Trong những năm gần đây, rất nhiều nghiên cứu đã được thực hiện nhằm tìm kiếm các vật liệu cảm biến độ ẩm tốt hơn. Trong số đó, vật liệu polyme hữu cơ đã thu hút nhiều sự chú ý nhờ độ nhạy cao, phản hồi nhanh và độ trễ độ ẩm nhỏ. Có hai loại vật liệu cảm biến độ ẩm chính: dòng CAB (cellulose acetate butyrate) và dòng P (polyimide).

Cảm biến độ ẩm điện dung polyme hữu cơ ban đầu được làm từ cellulose axetat và các dẫn xuất của nó. Hiện nay, cellulose axetat được sử dụng phổ biến nhất. Công ty Sakai của Nhật Bản đã so sánh các đặc tính của nhiều dẫn xuất cellulose khác nhau và nghiên cứu các đặc tính về điện dung, nhiệt độ và đường cong hấp thụ. Kết quả cho thấy, để chế tạo cảm biến độ ẩm không hút ẩm, lượng nước phải được hạn chế và sự tương tác giữa các phân tử không được xảy ra. Họ đề xuất rằng vật liệu cellulose axetat, đặc biệt là phần tử được làm từ điện cực vàng xốp, không chỉ có tốc độ phản hồi nhanh mà còn có độ trễ hút ẩm thấp.

Matsuguchi đề xuất phương pháp tổng hợp các polyme mạch ngắn có nhóm axetylen ở cả hai đầu của polyimide. Ở trạng thái polyme mạch ngắn, dung dịch được sử dụng để hòa tan, sau đó màng được phủ lên chất nền để tạo thành màng, và sau khi nung nóng, thu được polyimide có cấu trúc liên kết lập thể, khó tan trong nước. Vì vật liệu không tách rời khỏi nước khi đông cứng, và khó tạo thành các lỗ nhỏ trên màng đã đông cứng, nên đây là vật liệu nhạy cảm với độ ẩm có khả năng chống nước tốt. Kết quả cho thấy phần tử nhạy cảm với độ ẩm của polyimide biến tính có tốc độ phản hồi nhanh và hầu như không có hiện tượng trễ. Hệ số nhiệt độ nhỏ, khả năng chống dung môi (axeton) cũng tốt, và độ ổn định được cải thiện đáng kể.

Chen Xingzhu đã đề xuất một loại cảm biến độ ẩm màng điện môi composite điện dung mới. Màng điện môi của nó được cấu tạo từ hai loại PI (CAB) có đặc tính đầu ra tuyến tính và nhiệt độ khác nhau. So với vật liệu PI và CAB đơn lẻ, vật liệu composite có độ trễ nhỏ, sai số phi tuyến nhỏ và hệ số nhiệt độ nhỏ, đồng thời cải thiện rõ rệt khả năng lặp lại và độ ổn định lâu dài. Điều này cung cấp một ý tưởng mới cho thiết kế chức năng của vật liệu điện môi của cảm biến độ ẩm điện dung. Hình ảnh sản phẩm tiêu biểu được thể hiện trong Hình 3.

Hình 3. Hồ sơ cảm biến điểm sương CI-XS200

Ưu điểm chính của phương pháp điện dung là độ nhạy cao, phản hồi nhanh, dễ chế tạo, dễ thu nhỏ và tích hợp. Hiện nay, thiết bị đo độ ẩm khí thải trực tuyến ở Trung Quốc có nhiều ứng dụng, nhưng độ ổn định lâu dài chưa lý tưởng, và hầu hết các sản phẩm sử dụng lâu dài đều bị trôi lệch nghiêm trọng, gây hỏng hóc. Cảm biến độ ẩm điện dung có khả năng chống ăn mòn kém hơn, thường yêu cầu môi trường sạch sẽ hơn. Một số sản phẩm vẫn còn gặp phải các hiện tượng như hỏng do sét đánh và hỏng do tĩnh điện. Tóm lại, đây là một phương pháp đang được cải tiến liên tục.

Phương pháp dòng điện giới hạn

Theo nghiên cứu lý thuyết chuyên sâu, thông qua nhiều thí nghiệm, việc sử dụng cảm biến dòng ion có thể đạt được phép đo độ ẩm chính xác. Bằng cách thay đổi điện áp đặt vào cực âm và cực dương của cảm biến, độ ẩm có thể được đo. Phát hiện này giải quyết được vấn đề mà các cảm biến độ ẩm thông thường không thể thích ứng với môi trường nhiệt độ cao (ví dụ, cao hơn 100°C).

Điện áp hoạt động được đặt vào cực dương và cực âm của zirconia để tạo ra điện trường, đẩy các ion oxy từ cực âm tạo thành dòng điện ion oxy chạy qua zirconia đến cực dương. Khi nồng độ oxy trong môi trường đo được xác định, giá trị dòng điện của cảm biến zirconia không tăng khi điện áp đặt vào tăng, đạt đến một giá trị không đổi. Giá trị dòng điện không đổi này được gọi là giá trị dòng điện giới hạn của nồng độ oxy, hay còn gọi là giá trị dòng điện giới hạn thứ nhất. Theo nguyên lý hoạt động, khi môi trường đo có chứa hơi nước, bằng cách tăng điện áp đặt vào, hơi nước cũng bị ion hóa thành ion oxy, và khi nồng độ hơi nước trong môi trường đo được cố định, cảm biến zirconia sẽ xuất ra một giá trị dòng điện không đổi, được gọi là giá trị dòng điện giới hạn thứ hai.

Hình 4 Mối quan hệ giữa dòng điện giới hạn và điện áp đặt vào

Hình 5. Đồ thị đường cong của dòng điện giới hạn đầu ra của cảm biến dưới tác động của hơi nước.

Phản ứng tại cực âm và cực dương của cảm biến diễn ra như sau:

Phía catốt :O2+4e- →2O2- (4)

H2O+2e- →H2+O2- (5)

Phía cực dương:O2- → 1/2O2+2e- (6)

Theo quy tắc Fick về giới hạn khuếch tán khí của cảm biến, dòng điện giới hạn thứ nhất I1 và dòng điện giới hạn thứ hai I2 được biểu diễn tương ứng bằng công thức sau trong điều kiện hệ số khuếch tán của oxy bằng hệ số khuếch tán của hơi nước:

I1={-4FDSP/(RTL)}Ln(1-PO2/P) (7)

I2={-4FDSP/(RTL)}{(1+PH2O/2PO2)} (8)

PO2=0.21(P- PH2O) (9)

Trong công thức: F là hằng số Faraday, D là hệ số khuếch tán của phân tử khí hỗn hợp, S là diện tích lỗ khuếch tán, P là áp suất tổng của khí hỗn hợp, PO2 là áp suất riêng phần, PH2O là áp suất riêng phần của hơi nước, R là hằng số khí, T là nhiệt độ tuyệt đối, L là chiều dài của lỗ khuếch tán khí, 0,21 là hàm lượng oxy trong không khí.

Phạm vi ứng dụng của phương pháp đo độ ẩm bằng dòng ion là:

Công ty TNHH Chang Ai, phối hợp với Tiến sĩ Trương Nghệ Can (người Trung Quốc, người đầu tiên giới thiệu cảm biến zirconia loại dòng điện cực mạnh vào Trung Quốc) và nhóm của ông, cùng với ông Dương Bang Chao, giám đốc Viện Vi điện tử và Vật liệu rắn thuộc Đại học Khoa học và Công nghệ Điện tử Thành Đô, đã tiên phong ứng dụng cảm biến dòng ion trong đo nhiệt độ và độ ẩm cao. Năm 2006, công ty lần đầu tiên giới thiệu thiết bị đo nhiệt độ và độ ẩm cao GRL-12 dựa trên cảm biến dòng ion (Hình 5), và trước Thế vận hội Xanh năm 2008, nhiều ứng dụng đã được triển khai tại các nhà máy luyện cốc ở Sơn Tây, giám sát khí thải nhà máy nhiệt điện, phục vụ công tác bảo vệ và giám sát môi trường, tạo nên trách nhiệm và đóng góp to lớn cho doanh nghiệp trong nước. Trong hơn mười năm phát triển, Công ty Chang'ai đã phát triển một số lượng lớn các thiết bị phân tích độ ẩm dựa trên cảm biến dòng ion, chẳng hạn như máy truyền độ ẩm dòng CI-PC18, máy giám sát độ ẩm đất CI-PC19, máy phân tích độ ẩm nhiệt độ cao dòng CI-PC168, hệ thống phát hiện độ ẩm công nghiệp thực phẩm CI-PC193, hệ thống phân tích độ ẩm nhiệt độ cao dòng CI-PC196, hình ảnh minh họa sản phẩm được thể hiện trong Hình 6.

Hình 6. Hồ sơ máy đo độ ẩm nhiệt độ cao CI-PC18.

Cấu trúc cảm biến:

Hình 6. Cấu trúc cảm biến độ ẩm dòng ion 3D.

Các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực bảo vệ môi trường, in ấn và nhuộm, gỗ, vật liệu xây dựng, công nghiệp sản xuất giấy, công nghiệp hóa chất, sợi và dược phẩm, cũng như ngành công nghiệp chế biến và bảo quản thực phẩm, thuốc lá, rau quả và ngũ cốc.

Phương pháp oxy khô-ướt

Cảm biến oxy của hệ thống CEMS được sử dụng để đo hàm lượng oxy trước và sau khi khử ẩm khí thải. Khi tính toán hàm lượng ẩm trong khí thải, độ ẩm của khí thải được tính theo công thức sau:

Xsw=1-X,O2/XO2 (1)

Trong công thức (1), X và O2 là phần trăm thể tích oxy trong khí thải ẩm, %, và Xo2 là phần trăm thể tích oxy trong khí thải khô, %.

Vấn đề chính của việc đo oxy khô và oxy ướt là cần hai thiết bị để đo riêng biệt từng loại oxy. Sai số do sự khác biệt về điểm lấy mẫu và sai số lấy mẫu gây ra như sau: Sai số của hai thiết bị được cộng dồn. Những sai số này rất khó khắc phục đối với phương pháp này.

Hấp thụ tia hồng ngoại

Quang phổ hấp thụ là một kỹ thuật quan trọng trong đo độ ẩm hiện đại, bao gồm cả hấp thụ hồng ngoại và tia cực tím. Hiện nay, công nghệ đo dựa trên phổ hấp thụ cận hồng ngoại đã trở nên hoàn thiện hơn, độ chính xác, độ nhạy và phạm vi đo của nó tốt hơn so với phương pháp phân tích độ ẩm truyền thống.

Phương pháp hấp thụ hồng ngoại sử dụng nguyên lý nước hấp thụ mạnh ánh sáng hồng ngoại có bước sóng cụ thể; hàm lượng nước khác nhau sẽ ảnh hưởng đến mức độ hấp thụ ánh sáng, và tuân theo định luật Lambert-Beer. Bằng cách đo độ truyền qua của khí ở bước sóng hấp thụ và bước sóng tham chiếu, tỷ lệ độ truyền qua của hai bước sóng này là một hàm số của hàm lượng hơi nước trong khí. Wan Jia Rong đã phát hiện ra rằng các bước sóng hấp thụ được sử dụng phổ biến nhất là 1,45 μm và 1,94 μm, và các bước sóng tham chiếu thường được sử dụng là 1,73 μm và 2,1 μm.

Có hai phương pháp đo độ ẩm dựa trên quang phổ hấp thụ cận hồng ngoại: quang phổ suy giảm cộng hưởng diode laser (CRDS) và quang phổ hấp thụ diode laser điều chỉnh được (TLDAS). Bộ cộng hưởng CRDS có cấu trúc đơn giản và kích thước nhỏ, đảm bảo thay thế khí nhanh chóng, do đó CRDS rất phù hợp cho việc đo trực tuyến. TLDAS là một công nghệ đo quang phổ hấp thụ tương đối hoàn thiện, đã được sử dụng trong lĩnh vực đo độ ẩm vi mô, và có ưu điểm là độ nhạy cao và phản hồi nhanh.

Tuy nhiên, phương pháp hấp thụ hồng ngoại được sử dụng trong đo độ ẩm khí thải cần tránh sự nhiễu loạn của bước sóng nhạy cảm với CO2/SO2/NOX, điều này rất khó, cộng thêm giá thành cao của thiết bị, nên nó ít được sử dụng trong đo độ ẩm khí thải.

Máy tạo độ ẩm nhiệt độ cao

Do nhiệt độ khí thải thường cao hơn, khoảng 80°C~120°C, trong khi máy tạo độ ẩm thông thường tạo ra độ ẩm ổn định ở nhiệt độ bình thường, ngay cả khi độ ẩm ổn định được duy trì ở nhiệt độ cao, vẫn khó đảm bảo nhiệt độ được giữ ổn định trong quá trình sử dụng. Việc sử dụng máy tạo độ ẩm ở nhiệt độ bình thường để hiệu chuẩn máy đo độ ẩm khí thải ở nhiệt độ cao thường khó đáp ứng được yêu cầu, điều này gây ra những hạn chế lớn cho nghiên cứu và ứng dụng đo độ ẩm ở nhiệt độ cao. Đặc biệt là cảm biến độ ẩm điện dung, ngoài độ ẩm môi trường, còn nhạy cảm với nhiệt độ và dễ bị trôi nhiệt độ, do đó cần phải phát triển máy tạo độ ẩm ở nhiệt độ cao.

Máy tạo độ ẩm nhiệt độ cao có thể tạo ra độ ẩm ổn định ở nhiệt độ cao hơn. Đây là thiết bị hiệu chuẩn tiện lợi và trực quan cho thiết bị đo độ ẩm khí thải. Zhang Wen Dong đã phát triển một bộ máy tạo độ ẩm chính xác nhiệt độ cao bằng cách sử dụng nguyên lý phương pháp nhiệt độ kép và áp suất kép. Các thí nghiệm về độ ổn định nhiệt độ được thực hiện ở 50°C, 100°C và 150°C. Thời gian thí nghiệm là 2 giờ. Kết quả thử nghiệm về độ ổn định nhiệt độ của bình chứa dầu bão hòa và buồng thử nghiệm nằm trong phạm vi 0,02°C. Độ không chắc chắn lý thuyết tối đa của thiết bị là ±1,09RH. Độ chính xác của thiết bị được xác minh bằng kết quả thử nghiệm của máy đo độ ẩm phương pháp trọng lượng. Thiết bị này có thể được sử dụng để hiệu chỉnh cảm biến và bộ truyền độ ẩm nhiệt độ cao.

2. Tóm tắt

Việc đo độ ẩm khí thải là một vấn đề được thừa nhận. Phương pháp quả cầu khô-ướt được quy định trong tiêu chuẩn quốc gia làm phương pháp tham chiếu dễ xảy ra sai số. Phương pháp ngưng tụ và phương pháp cân có độ chính xác cao, nhưng thao tác phức tạp, chỉ có thể được sử dụng trong phòng thí nghiệm. Phương pháp đo độ ẩm khí thải trực tuyến được sử dụng trong hệ thống CEMS ở Trung Quốc là phương pháp điện dung và phương pháp dòng điện giới hạn. Cả hai phương pháp này đều thuộc về cảm biến độ ẩm điện tử. Triển vọng ứng dụng rộng rãi, nhưng khả năng chống ô nhiễm và độ ổn định lâu dài cần được cải thiện. Tuy nhiên, phương pháp oxy khô-ướt có sai số lớn, và phương pháp hấp thụ hồng ngoại thì đắt tiền, nên ít được sử dụng. Máy tạo độ ẩm ở nhiệt độ thường cũng khó đáp ứng yêu cầu hiệu chuẩn của thiết bị đo độ ẩm khí thải. Việc phát triển máy tạo độ ẩm và nhiệt độ cao là cần thiết và cũng là một vấn đề kỹ thuật.