Аналіз працэсу і забруджвання полікрэмнію

Аналіз працэсу і забруджвання полікрэмніем

Працэс падрыхтоўкі і ачысткі вадароду

Вадарод вырабляецца ў электралітычнай ячэйцы шляхам электролізнага апраснення. Вадарод, атрыманы ў выніку электролізу, астуджаецца і аддзяляецца ад вадкасці, затым паступае ў дэаэратар, дзе пад дзеяннем каталізатара сляды кіслароду ў вадародзе рэагуюць з ім, утвараючы ваду і выдаляючы яе. Дэаксігенаваны вадарод сушыцца з дапамогай набору адсарбцыйных сушылак. Ачышчаны і высушаны вадарод накіроўваецца ў рэзервуар для захоўвання вадароду, а затым на працэсы сінтэзу хларыду вадароду, аднаўлення трыхларвадароду і крэмніевага вадароду, а таксама гідрыравання тэтрахларыду крэмнію.

Кісларод, які атрымліваецца ў выніку электролізу, пасля астуджэння і аддзялення вадкасці адпраўляецца ў рэзервуар для захоўвання кіслароду. Выліце кісларод з рэзервуара і пераліце ​​яго ў бутэльку.

Адсарбент адходаў, які выводзіцца з газа-вадкаснага сепаратара, каталізатар раскіслення адходаў, які выводзіцца з раскісляльніка вадароду, і адсарбент адходаў, які выводзіцца з сушылкі, аднаўляецца і паўторна выкарыстоўваецца пастаўшчыкамі.

Працэс сінтэзу хларыду вадароду

Вадарод з працэсу падрыхтоўкі і ачысткі вадароду і цыркулюючы вадарод, які вяртаецца з працэсу сухога падзелу сінтэз-газу, адпаведна паступаюць у буферны рэзервуар для вадароду працэсу і змешваюцца ў рэзервуары. Газападобны вадарод з буфернага рэзервуара для вадароду падаецца ў гармату для гарэння ў ніжняй частцы печы для сінтэзу хларыду вадароду. Газападобны хлор з працэсу выпарэння вадкага хлору таксама падаецца ў гармату для гарэння ў ніжняй частцы печы для сінтэзу хларыду вадароду праз буферны рэзервуар для хлору. Сумесь вадароду і хлору запальваецца на выхадзе з гарматы для гарэння, і газападобны хлорысты вадарод утвараецца ў выніку рэакцыі гарэння. Газападобны хлорысты вадарод з печы для сінтэзу пасля праходжання праз паветраны ахаладжальнік, вадзяны ахаладжальнік, глыбокі ахаладжальнік і сепаратар туману накіроўваецца ў працэс сінтэзу трыхлорсілану.

Для забеспячэння бяспекі прылада абсталявана сістэмай паглынання хлорыстага вадароду, якая ў асноўным складаецца з двух абсарбераў падзення плёнкі хлорыстага вадароду, двух цыркуляцыйных канавок салянай кіслаты і цыркуляцыйнага помпы салянай кіслаты і можа паглынаць хлорысты вадарод, які вылучаецца пры рэгуляванні нагрузкі або аварыйным разрадзе прылады вадой. Сістэма падтрымлівае бесперапынную працу і можа прымаць і паглынаць хлорысты вадарод, які вылучаецца прыладай, у любы час.

Для забеспячэння бяспекі працоўны працэс прадугледжаны сістэмай апрацоўкі адпрацаваных газаў, якія змяшчаюць хлор, якая ў асноўным складаецца з вежы апрацоўкі адпрацаваных газаў, цыркуляцыйнага рэзервуара для шчолачнай вадкасці, цыркуляцыйнага помпы для шчолачнай вадкасці і цыркуляцыйнага ахаладжальніка для шчолачнай вадкасці. Пры неабходнасці хлор з буфернага рэзервуара для хлору і трубаправода можа быць накіраваны ў вежу апрацоўкі адпрацаваных газаў, а хлор можа быць прамыты і выдалены водным растворам гідраксіду натрыю. Сістэма ачысткі адпрацаваных газаў падтрымліваецца ў бесперапынным рэжыме, каб гарантаваць прыём і ачыстку газаў, якія змяшчаюць хлор, у любы час.

Працэс сінтэзу трыхлорсілану

Сыравіна ў выглядзе парашка крэмнію суспендуецца і выгружаецца ў прыёмны бункер для парашка крэмнію праз бункер для выгрузкі парашка крэмнію. З прыёмнага бункера парашок крэмнію падаецца ў ніжні сярэдні бункер, газ у бункеры замяняецца гарачым хларыдам вадароду і павышаецца, каб ураўнаважыць ціск у ніжнім бункеры, і парашок крэмнію падаецца ў ніжні бункер падачы парашка крэмнію. Парашок крэмнію з загрузачнага бункера падаецца ў загрузачную трубу печы для сінтэзу трыхлорсілану праз зорчаты падавальнік, усталяваны ў ніжняй частцы загрузачнага бункера.

Хларыд вадароду, які паступае з працэсу сінтэзу хларыду вадароду, змешваецца з цыркулюючым хларыдам вадароду з буфернага бака для цыркуляцыі хларыду вадароду, затым хларыд вадароду падаецца ў падаючую трубу печы для сінтэзу трыхлорсілану, крэмніевы парашок па падаючай трубе перамяшчаецца з бункера для падачы крэмніевага парашка, а крэмніевы парашок паступае ў печ для сінтэзу трыхлорсілану знізу.

У печы для сінтэзу трыхлорсілану парашок крэмнію і газападобны хлорысты вадарод утвараюць кіпячы слой і рэагуюць з утварэннем трыхлорвадароду крэмнію, і ў той жа час утвараюцца такія прадукты, як тэтрахларыд крэмнію, дыгідрахларыд крэмнію, хларыд металу, поліхларысілан, газападобны вадарод, і сумесь газаў называецца сінтэз-газам трыхлорвадароду крэмнію. Рэакцыя з'яўляецца экзатэрмічнай. Знешняя сценка сінтэтычнай печы мае вадзяную кашулю, і цяпло адводзіцца вадой у кашулі для падтрымання тэмпературы сценкі печы.

Сінтэтычны газ з парашком крэмнію размяшчаецца ў верхняй частцы печы сінтэзу, пасля чаго частка парашка крэмнію выдаляецца сістэмай сухога пылазборніка, якая складаецца з трохступенчатага цыклоннага пылазборніка, парашок крэмнію накіроўваецца ў сістэму вільготнага пылазборніка, а вадкасць тэтрахларыду крэмнію прамываецца, а частка дробнага пылу крэмнію ў газе змываецца.

Адначасова ў газ уводзіцца вільготны вадарод, які кантактуе з ім, і частка аксіду металу, які змяшчаецца ў газе, гідралізуецца і выдаляецца. Змяшаны газ, ачышчаны шляхам выдалення крэмніевага парашка, накіроўваецца на працэс сухога падзелу сінтэз-газу.

Працэс сухога падзелу сінтэтычнага газу

Сінтэз-газ, які атрымліваецца на этапе сінтэзу трыхлорсілану і вадароду, падзяляецца на вадкі хларсілан, газападобны вадарод і газападобны хлорападобны вадарод і паступае ў прыбор для далейшага выкарыстання.

Сінтэтычны газ трыхлорсілану праходзіць праз буферны бак змешанага газу, затым паступае ў распыляльную прамыўную вежу і прамываецца нізкатэмпературнай вадкім хларсіланам пад верхнім патокам вежы. Большая частка хларсілану ў газе кандэнсуецца і змешваецца з прамыўной вадкасцю. Хларсілан у ніжняй частцы вежы знаходзіцца пад ціскам помпы, большая частка хларсілану цыркулюе назад у верх вежы пасля астуджэння і астуджэння для прамывання газам, а рэшткавы хларсілан накіроўваецца ў вежу аналізу хлорыстага вадароду.

Большая частка газападобнага хлорсілану выдаляецца з верхняй часткі распыляльнай і прамыўной вежы, сціскаецца кампрэсарам змешаных газаў, астуджаецца і астуджаецца, накіроўваецца ў вежу паглынання хларыду вадароду, прамываецца вадкім хлорсіланам, які астуджаецца і астуджаецца і падаецца з ніжняй часткі вежы аналізу хларыду вадароду. Большая частка хларыду вадароду ў газе паглынаецца хларысіланам, а большая частка хларыду вадароду, які застаўся ў газе, прамываецца і кандэнсуецца. Верхні газ вежы - гэта газападобны вадарод, які змяшчае сляды хларыду вадароду і хларысілану, і газападобны вадарод высокай чысціні атрымліваецца пасля далейшага выдалення хларыду вадароду і хларысілану групай адсарбераў, якія змяняюць тэмпературу і ціск. Вадарод праходзіць праз буферны бак для вадароду, а затым вяртаецца ў працэс сінтэзу хларыду вадароду для ўдзелу ў рэакцыі сінтэзу хларыду вадароду. Рэгенераваны адпрацаваны газ адсарбера змяшчае вадарод, хларыд вадароду і хларысілан і накіроўваецца ў працэс ачысткі адпрацаваных газаў для апрацоўкі.

Хлорсілан, раствораны ў газападобным хлорыстым вадародзе ў ніжняй частцы выкідной абсарбцыйнай вежы для хлорыстага вадароду, награваецца, затым злучаецца з лішкам хлорсілану з ніжняй часткі распыляльнай прамыўной вежы, пасля чаго накіроўваецца ў сярэднюю частку вежы для аналізу хлорыстага вадароду, і ачышчаны газападобны хлорыстага вадароду атрымліваецца ў верхняй частцы вежы шляхам аперацыі дэкампрэсійнай дыстыляцыі. Газападобны хлорыстага вадароду вежы праходзіць праз буферны бак для хлорыстага вадароду, а затым накіроўваецца ў цыркуляцыйны буферны бак для хлорыстага вадароду, які выкарыстоўваецца ў працэсе сінтэзу трыхлорсілану. З ніжняй часткі вежы выдаляецца хлорыстага вадароду для атрымання рэгенераванай вадкасці хлорсілану, большая частка якой пасля астуджэння, замарозкі і астуджэння вяртаецца ў абсарбцыйную вежу для хлорыстага вадароду для выкарыстання ў якасці абсарбенту, а лішак вадкасці хлорсілану (гэта значыць хлорсілан, аддзелены ад сінтэз-газу трыхлорсілану) пасля астуджэння накіроўваецца ў бак для захоўвання сыравіны для хлорсілану на этапе захоўвання хлорсілану.

Працэс падзелу і ачысткі хлорсілану

Вадкі хлорсілан, аддзелены на стадыі сухога аддзялення сінтэз-газу, падаецца ў рэзервуар для захоўвання хлорсілану з сыравіны на стадыі захоўвання хлорсілану. Вадкі хлорсілан, аддзелены на стадыі сухога аддзялення аднаўленчага хваставога газу, накіроўваецца ў рэзервуар для захоўвання аднаўленчага хлорсілану на стадыі захоўвання хлорсілану; вадкі хлорсілан, аддзелены на стадыі сухога аддзялення гідрыднага газу, падаецца ў рэзервуар для захоўвання гідрахларсілану на стадыі захоўвання хлорсілану. Вадкі хлорсілан сыравіны, вадкі аднаўленчы хлорсілан і вадкі гідрахларсілан адпаведна адпампоўваюцца помпай і накіроўваюцца ў розныя рэктыфікацыйныя вежы працэсу падзелу і ачысткі хлорсілану.

Працэс аднаўлення трыхлорвадароду крэмніем з дапамогай вадароду

Трыхлорсілан, ачышчаны ў працэсе аддзялення і ачысткі хлорсілану, падаецца ў выпарнік трыхлорсілану, дзе награваецца і выпараецца гарачай вадой; цыркулюючы вадарод, які вяртаецца з працэсу сухога аддзялення аднаўляльнага хваставога газу, праходзіць праз буферны рэзервуар для вадароду і таксама падаецца ў выпарнік для ўтварэння змешанага газу з парамі трыхлорсілану ў пэўнай прапорцыі.

Газападобная сумесь трыхлорсілану і вадароду з выпарніка трыхлорсілану накіроўваецца ў аднаўленчую печ. На паверхні гарачага крэмніевага стрыжня/крэмніевага стрыжня, ​​які электрызуецца ў аднаўленчай печы, адбываецца рэакцыя аднаўлення вадароду да трыхлорсілану, у выніку чаго ўтвараецца і адкладаецца крэмній, у выніку чаго дыяметр крэмніевага стрыжня/крэмніевага стрыжня паступова павялічваецца, пакуль не дасягне зададзенага памеру. У выніку рэакцыі аднаўлення вадароду адначасова ўтвараюцца дыгідрахларыд крэмнію, тэтрахларыд крэмнію, хларыд вадароду і вадарод, якія разам з нерэагаваным трыхларыдам крэмнію і вадародам накіроўваюцца ў аднаўленчую печ і астуджаюцца цыркулюючай астуджальнай вадой ахаладжальніка аднаўленчага газу, а затым непасрэдна накіроўваюцца ў працэс сухога падзелу аднаўленчага газу.

Гарачая вада падаецца ў абалонку цыліндру рэдукцыйнай печы для адводу цяпла, якое выпраменьваецца ад гарачага крэмніевага стрыжня ў печы, да ўнутранай сценкі цыліндру печы і падтрымання тэмпературы ўнутранай сценкі цыліндру печы. Высокатэмпературная гарачая вада з абалонкі выпускнога цыліндру накіроўваецца на працэс рэкуперацыі цеплавой энергіі, і пасля таго, як пара выпрацоўваецца катлом-адлігатарам і астуджаецца, гарачая вада перапрацоўваецца для выкарыстання ў кожнай абалонцы рэдукцыйнай печы ў рамках працэсу.

Пасля ўстаноўкі крэмніевага стрыжня ў аднаўленчую печ, перад запускам печы выкарыстоўваецца вадзяны вакуумны помпа для стварэння вакууму, азот выкарыстоўваецца для замяшчэння паветра ў печы, вадарод выкарыстоўваецца для замяшчэння азоту ў печы (азот адпампоўваецца), а затым праводзіцца аперацыя нагрэву. Такім чынам, на этапе запуску азот скідаецца ў навакольнае паветра, і для вакуумнага помпы патрабуецца невялікая колькасць вады (якую можна адводзіць у выглядзе чыстай вады). На этапе адключэння і адкрыцця печы (каля 5-7 дзён за адзін раз) сумесь газаў, якая змяшчае хларсілан, хларыд вадароду і вадарод, у аднаўленчай печы спачатку ўціскаецца ў сістэму сухога ўлоўлівання аднаўленчага газу для ўлоўлівання вадародам, затым азот замяняецца і адпампоўваецца, полікрэмніевы прадукт выдаляецца, адпрацаваны графітавы электрод выдаляецца, а ультрачыстая вада ў печы прамываецца ў залежнасці ад сітуацыі, такім чынам, на этапе адключэння печы ўтвараюцца газападобны азот, адпрацаваны графіт і ачышчальныя сцёкавыя воды. Газападобны азот з'яўляецца бяспечным газам, таму пры нармальных абставінах аднаўленчая печ адкрыта, і на этапе прыпынку няма шкодных газавых выкідаў. Адпрацаваны графіт здабываецца з першапачатковага вытворчага завода, а ачышчальныя сцёкавыя воды накіроўваюцца ў сістэму ачысткі кіслотна-шчолачных сцёкавых вод, якія змяшчаюць хларыд, для далейшай апрацоўкі.

Працэс сухога падзелу для памяншэння колькасці хваставых газаў

Аднаўленчы хваставы газ са стадыі аднаўлення трыхлорсілану вадародам падзяляецца на вадкі хларсілан, вадарод і газападобны хлорысты вадарод, і хваставы газ адпаведна вяртаецца ў прыладу для выкарыстання.

Прынцып і працэс сухога аддзялення аднаўляльнага хваставога газу вельмі падобныя да сухога аддзялення трыхлорсілану. Вадарод высокай чысціні, атрыманы на выхадзе адсорбера са зменнай тэмпературай і ціскам, праходзіць праз буферны бак для вадароду, і большая частка вадароду вяртаецца ў працэс аднаўлення трыхларыду вадароду крэмнію для ўдзелу ў атрыманні полікрэмнію, а лішні вадарод накіроўваецца ў працэс гідрагенізацыі тэтрахларыду крэмнію для ўдзелу ў гідрагенізацыі тэтрахларыду крэмнію; адсорбер рэгенеруе адпрацаваны газ і накіроўвае яго ў працэс ачысткі адпрацаваных газаў; ачышчаны газападобны хлоравадарод атрымліваецца з верхняй часткі вежы для аналізу хлоравадароду і накіроўваецца ў цыркуляцыйны буферны бак для хлоравадароду, які выкарыстоўваецца ў працэсе сінтэзу трыхларыду вадароду крэмнію; лішні вадкі хлорсілан (гэта значыць хларсілан, аддзелены ад хваставога газу аднаўлення трыхларыду вадароду), здабыты з ніжняй часткі вежы для аналізу хлоравадароду, накіроўваецца ў бак для захоўвання адноўленага хларсілану на этапе захоўвання хларсілану.

Працэс гідрыравання тэтрахларыду крэмнію

Ачышчаны тэтрахларыд крэмнію, атрыманы ў працэсе падзелу і ачысткі хларсілану, падаецца ў выпарнік тэтрахларыду крэмнію, дзе награваецца і выпараецца гарачай вадой. Вадарод, атрыманы ў выніку працэсу падрыхтоўкі і ачысткі вадароду, і лішак вадароду, атрыманы ў выніку працэсу сухога падзелу аднаўленчага газу, змешваюцца ў буферным баку для вадароду, а затым вадарод таксама ўводзіцца ў выпарнік для ўтварэння пэўнай прапорцыі змешанага газу з парамі тэтрахларыду крэмнію.

Газавая сумесь тэтрахларыду крэмнію і вадароду з выпарніка тэтрахларыду крэмнію накіроўваецца ў печ для гідрагенізацыі. Рэакцыя гідрагенізацыі тэтрахларыду крэмнію адбываецца паблізу паверхні гарачага электрода, які электрызуецца ў печы для гідрагенізацыі, у выніку чаго адначасова ўтвараюцца трыхларгідрыд крэмнію і хларыд вадароду. Газавая сумесь, якая змяшчае трыхлорсілан, хларыд вадароду, нерэагаваўшы тэтрахларыд крэмнію і вадарод, накіроўваецца на працэс сухога падзелу вадароду.

Гарачая вада падаецца ў абалонку цыліндру печы гідрагенізацыі для адводу цяпла, якое выпраменьваецца ад гарачага электрода ў печы, да ўнутранай сценкі цыліндру печы і падтрымання тэмпературы ўнутранай сценкі цыліндру печы. Высокатэмпературная гарачая вада з абалонкі выпускнога цыліндру накіроўваецца на працэс рэкуперацыі цеплавой энергіі, і пасля таго, як пара выпрацоўваецца катлом-адлігатарам і астуджаецца, гарачая вада вяртаецца ў абалонку печы гідрагенізацыі.

Працэс сухога падзелу газаў гідрыравання

Газападобны вадарод, які атрымліваецца ў працэсе гідрагенізацыі тэтрахларыду крэмнію, падзяляецца на вадкі хларасілан, газападобны вадарод і газападобны хлорыстае вадарод, і газападобны вадарод адпаведна вяртаецца ў прыладу для далейшага выкарыстання.

Прынцып і працэс сухога аддзялення вадароду вельмі падобныя да сухога аддзялення трыхлорсілану. Высокачысты вадарод, атрыманы на выхадзе адсорбера са змяненнем тэмпературы і ціску, вяртаецца ў працэс гідрыравання тэтрахларыду крэмнію для ўдзелу ў гідрыраванні тэтрахларыду крэмнію пасля праходжання праз буферны бак для вадароду; паглынуты рэгенераваны адпрацаваны газ накіроўваецца ў працэс ачысткі адпрацаваных газаў; ачышчаны газападобны хлорадарод атрымліваецца з верхняй часткі вежы для аналізу хлорадароду і накіроўваецца ў цыркуляцыйны буферны бак для хлорадароду, які выкарыстоўваецца ў працэсе сінтэзу трыхлорвадароду і крэмнію; лішак вадкага хлорсілану (гэта значыць хларсілан, аддзелены ад гідрыднага газу), здабыты з ніжняй часткі вежы для аналізу хлорадароду, падаецца ў рэзервуар для захоўвання гідрахларысілану на этапе захоўвання хларсілану.

Працэс захоўвання хлорсілану

У працэсе выкарыстоўваюцца наступныя рэзервуары для захоўвання: рэзервуар для захоўвання хлорсілану ёмістасцю 100 м1, рэзервуар для захоўвання трыхлорсілану прамысловага класа ёмістасцю 100 м1, рэзервуар для захоўвання тэтрахлорсілану прамысловага класа ёмістасцю 100 м1, рэзервуар для аварыйнага зліву хлорсілану ёмістасцю 100 м1 і г.д.

Вадкі хларсілан, атрыманы на стадыі сухога падзелу сінтэз-газу, стадыі сухога падзелу аднаўленчага хваставога газу і стадыі сухога падзелу гідрагенізацыйнага газу, адпаведна падаецца ў рэзервуар для сыравіны, аднаўлення і захоўвання гідрахларсілану, а затым вадкі хларсілан адпаведна падаецца ў якасці сыравіны ў розныя рэктыфікацыйныя вежы стадыі падзелу і ачысткі хларсілану.

Змяшаная вадкасць трыхлорсілану і дыхлордыгідракрэмнію, атрыманая ў верхняй частцы выпрамляльнай вежы першай ступені ў працэсе падзелу і ачысткі хлорсілану, вадкасць трыхлорсілану, атрыманая ў ніжняй частцы выпрамляльнай вежы чацвёртай ступені, і вадкасць трыхлорсілану, атрыманая ў ніжняй частцы выпрамляльных вежаў шостай ступені, восьмай і дзесятай ступені, накіроўваюцца ў рэзервуар для захоўвання трыхлорсілану прамысловага класа, і вадкасць змешваецца ў рэзервуары і прадаецца як прадукцыя трыхлорсілану прамысловага класа.

Працэс падрыхтоўкі крэмніевага стрыжня

Для апрацоўкі і падрыхтоўкі праводнага крэмніевага стрыжня, ​​які неабходна ўсталяваць у печ падчас пачатковага вырабу аднаўленчай печы, выкарыстоўваецца тэхналогія зональнай валакнення і рэзкі ў печы. У працэсе падрыхтоўкі крэмніевага стрыжня крэмніевы стрыжань павінен быць падвергнуты карозіі плавікавай і азотнай кіслатой, затым крэмніевы стрыжань ачышчаецца ультрачыстай вадой і высушваецца. Фтарыд вадарод і аксід азоту падчас працэсу кіслотнай карозіі выходзяць у паветра, таму вентылятар выкарыстоўваецца для адсмоктвання паветра з фтарыдам вадароду і аксідам азоту праз вечка, якое знаходзіцца ў верхняй частцы рэзервуара кіслотнай карозіі, а затым газ накіроўваецца ў прыладу для апрацоўкі адпрацаваных газаў, і адпрацаваныя газы выводзяцца ў адпаведнасці са стандартамі.

Аперацыя сартавання прадуктаў

Полікрэмніевы стрыжань, выраблены ў аднаўленчай печы, вымаецца з печы, разразаецца і разбіваецца на масіўны полікрэмній. Блок полікрэмнію падвяргаецца карозіі плавікавай і азотнай кіслатой, затым ачышчаецца ультрачыстай вадой і сушыцца. Фторысты вадарод і аксід азоту падчас апрацоўкі кіслатой выходзяць у паветра, таму вентылятар выкарыстоўваецца для адсмоктвання паветра, якое змяшчае фторысты вадарод і аксід азоту, праз ветраадводную вечка, размешчанае ў верхняй частцы рэзервуара для апрацоўкі кіслатой, а затым газ накіроўваецца ў прыладу для апрацоўкі адпрацаваных газаў, і адпрацаваныя газы выводзяцца ў адпаведнасці са стандартамі. Масавы полікрэмніевы прадукт, які адпавядае зададзенаму паказчыку якасці, пастаўляецца на ўпакоўку.

Працэс апрацоўкі адпрацаваных газаў і рэшткаў

1. Ачыстка адпрацаванага газу, які змяшчае хлорысты вадарод

Адпрацаваны газ, які скідаецца ў працэсе ачысткі SiHCl1, спынення аднаўленчай печы, аварыйнага скіду адпрацаванага газу, бяспечны скід газу з рэзервуара для захоўвання хларсілану і хларыду вадароду, а таксама адпрацаваны газ адсорбцыі CDI накіроўваюцца па трубаправодах у вежу вылугвання адпрацаванага газу для прамывання.

Пасля таго, як адпрацаваны газ бесперапынна прамываецца 10% растворам NaOH з вылугавальнай вежы, прамыўная вадкасць з дна вежы перапампоўваецца ў працэс апрацоўкі тэхналагічных адходаў, а хваставы газ выводзіцца праз выцяжны цыліндр вышынёй 15 м.

2. Апрацоўка рэшткаў

Рэшткавая вадкасць рэактара, якая ў асноўным змяшчае тэтрахларыд крэмнію і поліхлорсіланавыя злучэнні, і рэшткавая вадкасць хларсілану, якая выводзіцца з рэктыфікацыйнай вежы і выводзіцца праз прыпыначную прыладу, накіроўваюцца ў працэс на апрацоўку.

Вадкасць, якая падлягае апрацоўцы, падаецца ў рэзервуар для збору рэшткаў. Затым вадкасць адціскаецца азотам і адпраўляецца ў вежу для вымывання рэшткавай вадкасці. Для апрацоўкі выкарыстоўваўся 10% шчолач NaOH. Хлорсілан у адпрацаванай вадкасці рэагуе з NaOH і вадой і пераўтвараецца ў бяспечныя рэчывы (прынцып апрацоўкі заключаецца ў апрацоўцы адпрацаванымі газамі, якія змяшчаюць хлорысты вадарод і хлорсілан).

3. кіслы адпрацаваны газ

Кіслы адпрацаваны газ, які ўтвараецца ў працэсе падрыхтоўкі і аздаблення крэмніевага стрыжня, ​​перапампоўваецца ў сістэму апрацоўкі адпрацаваных газаў праз вечка для збору газаў. Кіслы адпрацаваны газ прамываецца 10% вапнавым малаком у распыляльнай вежы для выдалення фторзмяшчальных адпрацаваных газаў, і адначасова ў прамыўную вадкасць дадаецца аміяк для аднаўлення большай часткі NOx да N2 і H2O. Пасля асушэння газу пасля прамывання рэшткі NOx у газе паглынаюцца адсарбентам SDG метадам цвёрдай адсорбцыі (пры выкарыстанні невысакароднага металу ў якасці каталізатара), а затым выводзяцца праз выхлапны цыліндр на вышыню 20 м.

Апрацоўка адходаў крэмніевага парашка

Парашок крэмнію, які выгружаецца з пылазборніка для зарадкі сыравіны для парашка крэмнію, цыклоннага пылазборніка цэха па сінтэзе трыхлоргідрыду крэмнію і рэактара сінтэзу, праз рэзервуар для транспарціроўкі шлаку транспартуецца ў варонку для адпрацаванага шлаку, трапляе ў трубу для кіслотнай прамыўкі з мешалкай, дзе адпрацаваны парашок крэмнію (пыл) прапускаецца праз 11% саляную кіслату і растварае ў адпрацаваным крэмніі прымешкі, такія як алюміній, жалеза і кальцый. Пасля завяршэння прамыўкі рэшткі адходаў фільтруюцца праз фільтр-прэс, адпраўляюцца ў сушылку для сушкі, высушаны парашок крэмнію вяртаецца ў цыркуляцыю сінтэзу трыхлорсілану для выкарыстання, а адпрацаваная вадкасць збіраецца ў сістэму ачысткі адпрацаваных газаў і апрацоўваецца разам са сцёкавымі водамі.

Адпрацаваны газ, які змяшчае HCl і выводзіцца з бака для травлення і бака для фільтрата, накіроўваецца ў сістэму ачысткі адпрацаваных газаў для далейшай апрацоўкі.

Працэс апрацоўкі тэхналагічных адходаў

1. Апрацоўка вадкіх сцёкавых вод класа I

Кіслотныя сцёкавыя воды, апрацаваныя прамыўной вадкасцю прамывной вежы, і адпрацаваны крэмніевы парашок змешваюцца, нейтралізуюцца і адстойваюцца ў працэсе, а затым фільтруюцца на фільтр-прэсе. Рэшткі фільтра (у асноўным SiO2) павінны быць дастаўлены на цэментны завод для вытворчасці цэменту (гл. Дадатак). Асадак і фільтрат у асноўным з'яўляюцца сцёкавымі водамі з высокай канцэнтрацыяй солі, якія ўтрымліваюць NaCl 200 г/л або больш, частка вады не ўносіць іоны кальцыя, магнію і сульфат-іоны ў працэсе эксплуатацыі і ачысткі, а якасць вады адпавядае патрабаванням вытворчасці хлоршчолачных рэчываў, таму сцёкавыя воды, якія ўтрымліваюць солі, па трубаправодзе транспартуюцца на вытворчую лінію каўстычнай соды кампаніі Sichuan Yongxiang Co., Ltd. у якасці вытворчай сыравіны для перапрацоўкі (гл. Дадатак). Выпараны кандэнсат паўторна выкарыстоўваецца для атрымання шчолачнай вадкасці.

2. Апрацоўка сцёкавых вод класа II

Адпрацаваныя плавікавая кіслата, адпрацаваная азотная кіслата і кіслотная прамыўная вада з працэсу падрыхтоўкі крэмніевых стрыжняў і працэсу аздаблення прадукцыі нейтралізуюцца і адстойваюцца 10% вапнавай эмульсіяй, фільтруюцца праз фільтр-прэс, а рэшту фільтра (у асноўным CaF2) адпраўляюць на цэментны завод для вытворчасці цэменту (гл. Дадатак). Адстойнік і фільтрат у асноўным уяўляюць сабой раствор нітрату кальцыя, і пасля выпарвання і канцэнтрацыі раствор прадаецца як пабочныя прадукты (гл. Дадатак). Выпараны кандэнсат паўторна выкарыстоўваецца для атрымання шчолачнага раствора.