Analisis Alur Proses dan Pembentukan Polusi pada Polisilikon

Analisis alur proses dan pembangkitan polusi pada polisilikon.

Proses persiapan dan pemurnian hidrogen

Hidrogen diproduksi dalam sel elektrolitik melalui desalinasi elektrolisis. Hidrogen yang dihasilkan melalui elektrolisis didinginkan dan dipisahkan dari cairan, kemudian masuk ke deaerator. Di bawah pengaruh katalis, oksigen dalam jumlah kecil dalam gas hidrogen bereaksi dengan gas hidrogen untuk menghasilkan air dan kemudian dihilangkan. Hidrogen yang telah dihilangkan oksigennya dikeringkan oleh serangkaian pengering adsorpsi. Gas hidrogen yang telah dimurnikan dan dikeringkan dikirim ke tangki penyimpanan hidrogen, dan kemudian dikirim ke proses sintesis hidrogen klorida, reduksi triklorohidrogen dan silikon hidrogen, serta hidrogenasi silikon tetraklorida.

Oksigen yang dihasilkan melalui elektrolisis dikirim ke tangki penyimpanan oksigen setelah didinginkan dan dipisahkan cairannya. Keluarkan oksigen dari tangki dan masukkan ke dalam botol.

Adsorben limbah yang dikeluarkan oleh pemisah gas-cair, katalis deoksidasi limbah yang dikeluarkan oleh deoksidator hidrogen, dan adsorben limbah yang dikeluarkan oleh pengering semuanya dipulihkan dan digunakan kembali oleh pemasok.

Proses sintesis hidrogen klorida

Hidrogen dari proses persiapan dan pemurnian hidrogen serta hidrogen sirkulasi yang dikembalikan dari proses pemisahan kering gas sintesis masing-masing dimasukkan ke dalam tangki penyangga hidrogen proses dan dicampur di dalam tangki. Gas hidrogen dari tangki penyangga gas hidrogen dimasukkan ke dalam nosel pembakaran di bagian bawah tungku sintesis hidrogen klorida. Gas klorin dari proses penguapan klorin cair juga dimasukkan ke dalam nosel pembakaran di bagian bawah tungku sintesis hidrogen klorida melalui tangki penyangga gas klorin. Gas campuran hidrogen dan klorin dinyalakan di keluaran nosel pembakaran, dan gas hidrogen klorida dihasilkan oleh reaksi pembakaran. Gas hidrogen klorida yang keluar dari tungku sintesis dikirim ke proses sintesis triklorosilan setelah melewati pendingin udara, pendingin air, pendingin dalam, dan pemisah kabut.

Untuk memastikan keamanan, perangkat ini dilengkapi dengan sistem penyerapan gas hidrogen klorida yang terutama terdiri dari dua penyerap film jatuh hidrogen klorida, dua alur sirkulasi asam klorida, dan pompa sirkulasi asam klorida, dan dapat menyerap gas hidrogen klorida yang dikeluarkan akibat penyesuaian beban atau pelepasan darurat perangkat dengan air. Sistem ini mempertahankan operasi berkelanjutan dan dapat menerima serta menyerap gas hidrogen klorida yang dikeluarkan oleh perangkat kapan saja.

Untuk memastikan keamanan, prosedur kerja dilengkapi dengan seperangkat sistem pengolahan gas buang yang mengandung klorin, yang terutama terdiri dari menara pengolahan gas buang, tangki sirkulasi cairan alkali, pompa sirkulasi cairan alkali, dan pendingin sirkulasi cairan alkali. Bila perlu, klorin dalam tangki penyangga klorin dan pipa dapat dikirim ke menara pengolahan gas buang, dan klorin dapat dicuci dan dihilangkan dengan larutan natrium hidroksida. Sistem pengolahan gas buang dioperasikan secara terus menerus untuk memastikan bahwa gas yang mengandung klorin diterima dan diolah setiap saat.

Proses sintesis triklorosilan

Serbuk silikon bahan baku disuspensikan dan dikeluarkan ke dalam corong penerima serbuk silikon melalui corong pengeluaran serbuk silikon. Serbuk silikon dimasukkan ke dalam corong tengah bawah dari corong penerima, gas di dalam corong diganti dengan hidrogen klorida panas dan ditingkatkan tekanannya agar seimbang dengan tekanan corong bawah, dan serbuk silikon dimasukkan ke dalam corong pemasok serbuk silikon bawah. Serbuk silikon di dalam corong pengumpan dialirkan ke pipa pengumpan tungku sintesis triklorosilan melalui pengumpan berbentuk bintang yang dipasang di bagian bawah corong pengumpan.

Hidrogen klorida dari proses sintesis hidrogen klorida dicampur dengan hidrogen klorida yang bersirkulasi dari tangki penyangga hidrogen klorida yang bersirkulasi, kemudian hidrogen klorida dimasukkan ke dalam pipa pengumpan tungku sintesis triklorosilan, bubuk silikon dalam pipa pengumpan dibawa dan diangkut dari corong pengumpan bubuk silikon, dan bubuk silikon masuk ke dalam tungku sintesis triklorosilan dari bawah.

Dalam tungku sintesis triklorosilan, serbuk silikon dan gas hidrogen klorida membentuk lapisan pendidihan dan bereaksi menghasilkan silikon triklorohidrogen, dan pada saat yang sama, produk seperti silikon tetraklorida, silikon dihidrogen klorida, klorida logam, poliklorosilan, gas hidrogen dihasilkan, dan gas campuran tersebut disebut gas sintesis silikon triklorohidrogen. Reaksi tersebut bersifat eksotermik. Dinding luar tungku sintesis dilengkapi dengan jaket air, dan panas diserap oleh air di dalam jaket untuk menjaga suhu dinding tungku.

Gas sintetis yang mengandung bubuk silikon ditempatkan di bagian atas tungku sintesis. Setelah sebagian bubuk silikon dihilangkan oleh sistem penghilang debu kering yang terdiri dari pengumpul debu siklon tiga tahap, bubuk silikon tersebut dikirim ke sistem penghilang debu basah, dan cairan silikon tetraklorida dicuci, serta sebagian debu silikon halus dalam gas dihilangkan.

Pada saat yang sama, hidrogen basah dimasukkan untuk bersentuhan dengan gas, dan sebagian oksida logam yang terkandung dalam gas tersebut dihidrolisis dan dihilangkan. Gas campuran yang telah dimurnikan dengan menghilangkan bubuk silikon kemudian dikirim ke proses pemisahan kering gas sintesis.

Proses pemisahan kering gas sintetis

Gas sintesis dari tahap sintesis hidrogen triklorosilan dipisahkan menjadi cairan klorosilan, gas hidrogen, dan gas hidrogen klorida pada tahap tersebut dan didaur ulang ke perangkat untuk digunakan.

Aliran gas sintetis triklorosilan dilewatkan melalui tangki penyangga gas campuran, kemudian masuk ke menara pencucian semprot, dan dicuci oleh cairan klorosilan suhu rendah di bawah aliran atas menara. Sebagian besar klorosilan dalam gas dikondensasi dan dicampur ke dalam cairan pencuci. Klorosilan di bagian bawah menara diberi tekanan oleh pompa, sebagian besar klorosilan disirkulasikan kembali ke bagian atas menara setelah didinginkan untuk pencucian gas, dan klorosilan residu dikirim ke menara analisis hidrogen klorida.

Sebagian besar gas klorosilan dikeluarkan dari bagian atas menara penyemprotan dan pencucian, dikompresi oleh kompresor gas campuran, didinginkan, dikirim ke menara absorpsi hidrogen klorida, dicuci oleh cairan klorosilan yang didinginkan dan dikirim dari bagian bawah menara analisis hidrogen klorida. Sebagian besar hidrogen klorida dalam gas diserap oleh klorosilan, dan sebagian besar klorosilan yang tersisa dalam gas dicuci dan dikondensasikan. Gas bagian atas menara adalah gas hidrogen yang mengandung sedikit hidrogen klorida dan klorosilan, dan gas hidrogen dengan kemurnian tinggi diperoleh setelah hidrogen klorida dan klorosilan dihilangkan lebih lanjut oleh sekelompok adsorber pengubah suhu dan tekanan. Hidrogen mengalir melalui tangki penyangga hidrogen, dan kemudian kembali ke proses sintesis hidrogen klorida untuk berpartisipasi dalam reaksi sintesis hidrogen klorida. Gas buang hasil regenerasi dari adsorber mengandung hidrogen, hidrogen klorida, dan klorosilan, dan dikirim ke proses pengolahan gas buang untuk diolah.

Klorosilana yang dilarutkan dengan gas hidrogen klorida di bagian bawah menara absorpsi hidrogen klorida dipanaskan, kemudian digabungkan dengan kelebihan klorin silana dari bagian bawah menara pencucian semprot, lalu dikirim ke bagian tengah menara analisis hidrogen klorida, dan gas hidrogen klorida murni diperoleh di bagian atas menara melalui operasi distilasi dekompresi. Gas hidrogen klorida menara mengalir melalui tangki penyangga hidrogen klorida, dan kemudian dikirim ke tangki penyangga hidrogen klorida sirkulasi yang diatur dalam proses sintesis triklorosilana; Bagian bawah menara menghilangkan hidrogen klorida untuk mendapatkan cairan klorosilana yang diregenerasi, sebagian besar dikirim kembali ke menara absorpsi hidrogen klorida setelah didinginkan, dibekukan, dan didinginkan untuk digunakan sebagai penyerap, dan kelebihan cairan klorosilana (yaitu klorosilana yang dipisahkan dari gas sintesis triklorosilana) dikirim ke tangki penyimpanan klorosilana bahan baku dari tahap penyimpanan klorosilana setelah didinginkan.

Proses pemisahan dan pemurnian klorosilan

Cairan klorosilan yang dipisahkan melalui tahap pemisahan kering gas sintesis dialirkan ke tangki penyimpanan klorosilan bahan baku tahap penyimpanan klorosilan. Cairan klorosilan yang dipisahkan melalui tahap pemisahan kering gas buang reduksi dikirim ke tangki penyimpanan klorosilan reduksi tahap penyimpanan klorosilan; Cairan klorosilan yang dipisahkan melalui tahap pemisahan kering gas hidrida dialirkan ke tangki penyimpanan hidroklorosilan tahap penyimpanan klorosilan. Cairan klorosilan bahan baku, cairan klorosilan reduksi, dan cairan hidroklorosilan masing-masing dipompa keluar oleh pompa dan dikirim ke menara rektifikasi yang berbeda dalam proses pemisahan dan pemurnian klorosilan.

Proses reduksi silikon hidrogen triklorohidrogen

Trichlorosilane yang dimurnikan melalui proses pemisahan dan pemurnian klorosilan dimasukkan ke dalam alat penguap trichlorosilane dalam proses tersebut, dan dipanaskan serta diuapkan oleh air panas; Gas hidrogen yang bersirkulasi yang kembali dari proses pemisahan kering gas buang reduksi mengalir melalui tangki penyangga hidrogen, dan juga dimasukkan ke dalam alat penguap untuk membentuk gas campuran dengan uap trichlorosilane dalam proporsi tertentu.

Campuran gas triklorosilan dan hidrogen dari penguap triklorosilan dikirim ke tungku reduksi. Di permukaan inti silikon/batang silikon panas yang dialiri listrik di dalam tungku reduksi, reaksi reduksi hidrogen terjadi pada triklorosilan, dan silikon dihasilkan serta diendapkan, sehingga diameter inti silikon/batang silikon secara bertahap membesar hingga mencapai ukuran yang ditentukan. Reaksi reduksi hidrogen menghasilkan silikon dihidrogen klorida, silikon tetraklorida, hidrogen klorida, dan hidrogen secara bersamaan, dan dikirim kembali ke tungku reduksi bersama dengan silikon trihidrogen klorida dan hidrogen yang tidak bereaksi, dan didinginkan oleh air pendingin sirkulasi dari pendingin gas buang reduksi, kemudian langsung dikirim ke proses pemisahan kering gas buang reduksi.

Air panas dimasukkan ke dalam jaket tabung tungku reduksi untuk menghilangkan panas yang dipancarkan dari inti silikon panas di dalam tungku ke dinding bagian dalam tabung tungku dan menjaga suhu dinding bagian dalam tabung tungku. Air panas bersuhu tinggi dari jaket silinder pengeluaran dikirim ke prosedur kerja pemulihan energi panas, dan setelah uap yang dihasilkan oleh boiler panas limbah didinginkan, air panas tersebut didaur ulang untuk digunakan oleh setiap jaket tungku reduksi dalam prosedur kerja.

Setelah inti silikon dipasang di dalam tungku reduksi, pompa vakum jet air digunakan untuk memompa vakum sebelum pengoperasian, nitrogen digunakan untuk menggantikan udara di dalam tungku, hidrogen digunakan untuk menggantikan nitrogen di dalam tungku (nitrogen dibuang), dan kemudian operasi pemanasan dilakukan. Oleh karena itu, nitrogen dibuang ke udara sekitar pada tahap pengoperasian, dan sejumlah kecil air untuk pompa vakum (yang dapat dibuang sebagai air bersih) diperlukan; Pada tahap pematian dan pembukaan tungku (sekitar 5-7 hari sekali), gas campuran yang mengandung klorosilan, hidrogen klorida, dan hidrogen di dalam tungku reduksi pertama-tama ditekan ke dalam sistem pemulihan kering gas buang reduksi untuk dipulihkan dengan gas hidrogen, kemudian gas nitrogen diganti dan kemudian dibuang, produk polisilikon dikeluarkan, elektroda grafit bekas dibuang, dan air ultra-murni di dalam tungku dicuci sesuai dengan situasinya, oleh karena itu, gas nitrogen, grafit bekas, dan air limbah pembersih dihasilkan pada tahap pematian tungku. Gas nitrogen adalah gas yang tidak berbahaya, oleh karena itu, dalam keadaan normal, tungku reduksi dibuka dan tahap penghentiannya tidak menghasilkan pelepasan gas berbahaya. Limbah grafit dipulihkan dari pabrik produksi asalnya, dan air limbah pembersihan dikirim ke sistem pengolahan air limbah asam-basa yang mengandung klorida untuk diolah.

Proses pemisahan kering untuk mengurangi gas buang

Gas sisa reduksi dari langkah reduksi hidrogen triklorosilan dipisahkan menjadi cairan klorosilan, hidrogen, dan gas hidrogen klorida melalui langkah tersebut, dan gas sisa tersebut masing-masing didaur ulang ke perangkat untuk digunakan.

Prinsip dan proses pemisahan kering gas buang reduksi sangat mirip dengan pemisahan kering triklorosilan. Hidrogen dengan kemurnian tinggi yang diperoleh dari keluaran adsorber pengubah suhu dan tekanan mengalir melalui tangki penyangga hidrogen, dan sebagian besar hidrogen dikembalikan ke proses reduksi hidrogen triklorida menjadi silikon untuk berpartisipasi dalam pembuatan polisilikon, dan kelebihan hidrogen dikirim ke proses hidrogenasi silikon tetraklorida untuk berpartisipasi dalam hidrogenasi silikon tetraklorida; Adsorber meregenerasi gas buang dan mengirimkannya ke proses pengolahan gas buang untuk diolah; Gas hidrogen klorida murni diperoleh dari bagian atas menara analisis hidrogen klorida dan dikirim ke tangki penyangga hidrogen klorida sirkulasi yang diatur dalam proses sintesis silikon hidrogen triklorida; Cairan klorosilan tambahan (yaitu klorosilan yang dipisahkan dari gas buang reduksi hidrogen triklorida) yang diekstrak dari bagian bawah menara analisis hidrogen klorida dikirim ke tangki penyimpanan klorosilan tereduksi pada tahap penyimpanan klorosilan.

Proses hidrogenasi silikon tetraklorida

Silikon tetraklorida murni yang telah melalui proses pemisahan dan pemurnian klorosilan dimasukkan ke dalam penguap silikon tetraklorida dalam proses tersebut, kemudian dipanaskan dan diuapkan dengan air panas. Hidrogen dari proses persiapan dan pemurnian hidrogen serta hidrogen berlebih dari proses pemisahan kering gas buang reduksi dicampur dalam tangki penyangga hidrogen, dan kemudian hidrogen tersebut juga dimasukkan ke dalam penguap untuk membentuk gas campuran dengan uap silikon tetraklorida dalam proporsi tertentu.

Gas campuran silikon tetraklorida dan hidrogen dari penguap silikon tetraklorida dikirim ke tungku hidrogenasi. Reaksi hidrogenasi silikon tetraklorida terjadi di dekat permukaan elektroda panas yang dialiri listrik di dalam tungku hidrogenasi, sehingga menghasilkan silikon triklorohidrida dan hidrogen klorida secara bersamaan. Gas campuran yang mengandung triklorosilan, hidrogen klorida, silikon tetraklorida yang tidak bereaksi, dan hidrogen dikirim ke proses pemisahan hidrogen kering.

Air panas dimasukkan ke dalam jaket tabung tungku hidrogenasi untuk menghilangkan panas yang dipancarkan dari elektroda panas di dalam tungku ke dinding bagian dalam tabung tungku dan menjaga suhu dinding bagian dalam tabung tungku. Air panas bersuhu tinggi dari jaket silinder pelepasan dikirim ke prosedur kerja pemulihan energi panas, dan setelah uap yang dihasilkan oleh boiler panas limbah didinginkan, air panas tersebut didaur ulang kembali ke jaket tungku hidrogenasi pada prosedur kerja.

Proses pemisahan kering gas hidrogenasi

Gas hidrogen dari proses hidrogenasi silikon tetraklorida dipisahkan menjadi cairan klorosilan, gas hidrogen, dan gas hidrogen klorida melalui proses tersebut, dan gas hidrogen tersebut masing-masing didaur ulang ke perangkat untuk digunakan.

Prinsip dan proses pemisahan kering gas hidrogen sangat mirip dengan pemisahan kering triklorosilan. Hidrogen dengan kemurnian tinggi yang diperoleh dari keluaran adsorber pengubah suhu dan tekanan dikembalikan ke proses hidrogenasi silikon tetraklorida untuk berpartisipasi dalam hidrogenasi silikon tetraklorida setelah melewati tangki penyangga hidrogen; Gas buang hasil regenerasi yang terserap dikirim ke proses pengolahan gas buang untuk diproses; Gas hidrogen klorida murni diperoleh dari bagian atas menara analisis hidrogen klorida dan dikirim ke tangki penyangga hidrogen klorida bersirkulasi yang diatur dalam proses sintesis silikon hidrogen triklorin; Cairan klorosilan berlebih (yaitu klorosilan yang dipisahkan dari gas hidrida) yang diekstrak dari bagian bawah menara analisis hidrogen klorida dimasukkan ke dalam tangki penyimpanan hidroklorosilan pada tahap penyimpanan klorosilan.

Proses penyimpanan klorosilana

Tangki penyimpanan berikut ini disusun dalam prosesnya: tangki penyimpanan klorosilan 100 m³, tangki penyimpanan triklorosilan kelas industri 100 m³, tangki penyimpanan tetraklorosilan kelas industri 100 m³, tangki pembuangan darurat klorosilan 100 m³, dll.

Cairan klorosilan yang diperoleh dari tahap pemisahan kering gas sintesis, tahap pemisahan kering gas sisa reduksi, dan tahap pemisahan kering gas hidrogenasi masing-masing dimasukkan ke dalam tangki bahan baku, tangki reduksi, dan tangki penyimpanan hidroklorosilan, kemudian cairan klorosilan tersebut masing-masing dimasukkan sebagai bahan baku ke menara rektifikasi yang berbeda pada tahap pemisahan dan pemurnian klorosilan.

Cairan campuran triklorosilan dan diklorodihidrosilikon yang diperoleh di bagian atas menara rektifikasi tahap pertama dalam proses pemisahan dan pemurnian klorosilan, cairan triklorosilan yang diperoleh di bagian bawah menara rektifikasi tahap keempat, dan cairan triklorosilan yang diperoleh di bagian bawah menara rektifikasi tahap keenam, menara rektifikasi tahap kedelapan, dan menara rektifikasi tahap kesepuluh dikirim ke tangki penyimpanan triklorosilan kelas industri, dan cairan tersebut dicampur di dalam tangki dan dijual sebagai produk triklorosilan kelas industri.

Proses persiapan inti silikon

Teknologi penarikan dan pemotongan tungku zona diadopsi untuk memproses dan mempersiapkan inti silikon konduktif yang perlu dipasang di dalam tungku selama produksi awal tungku reduksi. Dalam proses persiapan inti silikon, inti silikon perlu dikorosi dengan asam fluorida dan asam nitrat, kemudian inti silikon dibersihkan dengan air ultra murni, dan kemudian inti silikon dikeringkan. Gas hidrogen fluorida dan nitrogen oksida akan keluar ke udara selama proses perlakuan korosi asam, sehingga kipas digunakan untuk menyedot udara yang mengandung hidrogen fluorida dan nitrogen oksida melalui penutup angin yang dipasang di bagian atas tangki perlakuan korosi asam, dan kemudian gas tersebut dikirim ke perangkat pengolahan gas buang untuk diolah, dan gas buang dibuang sesuai standar.

Operasi penyortiran produk

Batang polisilikon yang dibuat di tungku reduksi dikeluarkan dari tungku, kemudian dipotong dan dipecah menjadi polisilikon padat. Blok polisilikon tersebut dikorosi dengan asam fluorida dan asam nitrat, lalu dibersihkan dengan air ultra murni, dan kemudian dikeringkan. Gas hidrogen fluorida dan nitrogen oksida akan menguap ke udara selama proses perlakuan korosi asam, sehingga kipas digunakan untuk menyedot udara yang mengandung hidrogen fluorida dan nitrogen oksida melalui penutup angin yang dipasang di bagian atas tangki perlakuan korosi asam, kemudian gas tersebut dikirim ke alat pengolahan gas buang untuk diolah, dan gas buang dibuang sesuai standar. Produk polisilikon curah yang telah terdeteksi memenuhi indeks kualitas yang ditentukan kemudian dikirim untuk dikemas.

Proses pengolahan gas buang dan residu.

1. Pemurnian gas buang yang mengandung hidrogen klorida

Gas buang yang dihasilkan dalam proses pemurnian SiHCl1, penghentian operasi tungku reduksi, pelepasan gas buang secara tidak sengaja, gas buang aman dari tangki penyimpanan klorosilan dan hidrogen klorida, serta gas buang adsorpsi CDI semuanya dikirim ke menara pelarutan gas buang melalui pipa untuk dicuci.

Setelah gas buang terus-menerus dicuci dengan larutan NaOH 10% di menara pelindian, cairan pencuci di bagian bawah menara dipompa ke dalam prosedur pengolahan limbah teknologi, dan gas buang dikeluarkan melalui silinder pembuangan dengan ketinggian 15m.

2. Pengolahan residu

Cairan residu reaktor yang terutama mengandung silikon tetraklorida dan senyawa poliklorosilan serta cairan residu klorosilan yang dikeluarkan dari menara rektifikasi dan dikeluarkan oleh alat penghenti dikirim ke proses untuk diolah.

Cairan yang akan diolah dimasukkan ke dalam tangki pengumpul residu. Cairan tersebut kemudian ditekan keluar dengan gas nitrogen dan dikirim ke menara pelindian cairan residu untuk pencucian. Larutan alkali NaOH 10% digunakan untuk pengolahan. Klorosilana dalam cairan limbah bereaksi dengan NaOH dan air dan diubah menjadi zat yang tidak berbahaya (prinsip pengolahannya adalah diolah dengan gas buang yang mengandung hidrogen klorida dan klorosilana).

3. gas buang asam

Gas buang asam yang dihasilkan dalam proses persiapan inti silikon dan penyelesaian produk dipompa ke sistem pengolahan gas buang melalui penutup pengumpul gas. Gas buang asam dicuci dengan larutan kapur 10% dalam menara semprot untuk menghilangkan gas buang yang mengandung fluorin, dan pada saat yang sama, amonia ditambahkan ke dalam cairan pencuci untuk mengurangi sebagian besar NOx menjadi N2 dan H2O. Setelah gas dihilangkan kelembapannya setelah pencucian, sisa NOx dalam gas diserap oleh adsorben SDG melalui metode adsorpsi padat (dengan menggunakan logam non-mulia sebagai katalis), dan kemudian dibuang melalui silinder pembuangan dengan ketinggian 20m.

Pengolahan limbah bubuk silikon

Serbuk silikon yang dikeluarkan dari pengumpul debu pengisian serbuk silikon bahan baku, pengumpul debu siklon dari bengkel sintesis silikon triklorohidrida dan reaktor sintesis diangkut ke corong terak limbah melalui tangki pengangkut terak limbah, masuk ke pipa pencucian asam dengan pengaduk, menghilangkan alkali dari serbuk silikon limbah (debu) melalui asam klorida 11%, dan melarutkan pengotor seperti aluminium, besi, dan kalsium dalam silikon limbah. Setelah pencucian selesai, residu limbah disaring oleh penyaring tekan, dikirim ke pengering untuk dikeringkan, serbuk silikon kering dikembalikan ke sirkulasi sintesis triklorosilan untuk digunakan, dan cairan limbah dikumpulkan ke dalam air limbah sistem pengolahan residu gas buang dan diolah bersama.

Gas buang yang mengandung HCl yang dikeluarkan dari tangki pengawetan dan tangki filtrat dikirim ke sistem pengolahan residu gas buang untuk diolah.

Proses pengolahan limbah

1. Pengolahan limbah cair kelas Ⅰ

Limbah cair yang mengandung asam yang diolah oleh cairan pencuci menara pencucian dan bubuk silikon limbah dicampur, dinetralkan, dan diendapkan dalam proses tersebut, kemudian disaring dengan filter press. Residu filter (terutama SiO2) akan dikirim ke Pabrik Semen untuk memproduksi semen (lihat Lampiran). Cairan sedimen dan filtrat terutama berupa air limbah yang mengandung garam dengan konsentrasi tinggi, mengandung NaCl 200 g/L atau lebih, sebagian air tidak mengandung ion kalsium magnesium dan ion sulfat dalam operasi dan pengolahan proses, dan kualitas air memenuhi persyaratan produksi klor-alkali, sehingga air limbah yang mengandung garam tersebut diangkut melalui pipa ke jalur produksi soda kaustik Sichuan Yongxiang Co., Ltd. sebagai bahan baku produksi untuk didaur ulang (lihat Lampiran). Kondensat yang menguap digunakan kembali untuk membuat larutan alkali.

2. Pengolahan limbah cair kelas II

Limbah asam fluorida, limbah asam nitrat, dan air limbah pencucian asam dari proses pembuatan inti silikon dan proses penyelesaian produk dinetralkan dan diendapkan dengan emulsi kapur 10%, disaring dengan filter press, dan residu filter (terutama CaF2) dikirim ke pabrik semen untuk produksi semen (lihat Lampiran). Larutan pengendapan dan filtrat terutama berupa larutan kalsium nitrat, dan setelah penguapan dan konsentrasi, larutan tersebut dijual sebagai produk sampingan (lihat Lampiran). Kondensat hasil penguapan digunakan kembali untuk membuat larutan alkali.