ניתוח זרימת תהליך ויצירת זיהום של פוליסיליקון

ניתוח זרימת תהליך ויצירת זיהום של פוליסיליקון

תהליך הכנת וטיהור מימן

מימן מיוצר בתא אלקטרוליטי על ידי התפלת אלקטרוליזה. המימן המיוצר על ידי האלקטרוליזה מקורר ומופרד על ידי נוזל, לאחר מכן נכנס למסיר אוויר, תחת פעולת הזרז, החמצן העקבות בגז המימן מגיב עם גז המימן ליצירת מים ומוסר. המימן נטול החמצן מיובש על ידי סט של מייבשי ספיחה. גז המימן המטוהר והמיובש נשלח למיכל אחסון מימן, ולאחר מכן נשלח לתהליכי סינתזת מימן כלורי, חיזור מימן טריכלורוהידרוגן וסיליקון והידרוגנציה של סיליקון טטרה-כלוריד.

החמצן המופק על ידי אלקטרוליזה נשלח למיכל אחסון חמצן לאחר קירור והפרדת הנוזל. הוציאו את החמצן מהמיכל והכניסו אותו לבקבוק.

חומר הסופח הנפלט על ידי מפריד הגז-נוזל, זרז הדקסידציה של הפסולת הנפלט על ידי מתקן הדקסידציה של המימן וחומר הסופח הנפלט על ידי המייבש, כולם ממוחזרים ומשתמשים בהם שוב על ידי הספקים.

תהליך סינתזת מימן כלורי

מימן מתהליך הכנת המימן וטיהורו ומימן במחזור המוחזר מתהליך ההפרדה היבשה של גז הסינתזה מוכנסים בהתאמה למיכל בופר המימן של התהליך ומעורבבים במיכל. גז המימן ממיכל בופר גז המימן מוכנס לתותח הבעירה בתחתית תנור הסינתזה של מימן כלורי. גז הכלור מתהליך אידוי הכלור הנוזלי מוכנס גם הוא לתותח הבעירה בתחתית תנור הסינתזה של מימן כלורי דרך מיכל בופר גז הכלור. הגז המעורבב של מימן וכלור ניצת ביציאה מתותח הבעירה, וגז המימן כלורי נוצר בתגובת בעירה. גז המימן הכלורי היוצא מתותח הסינתזה נשלח לתהליך הסינתזה של טריכלורוסילאן לאחר שעבר דרך מצנן האוויר, מצנן המים, המצנן העמוק ומפריד הערפל.

על מנת להבטיח את הבטיחות, המכשיר מצויד במערכת ספיגת גז מימן כלורי המורכבת בעיקר משני בולמי סרט נופל של מימן כלורי, שני חריצים למחזור חומצה הידרוכלורית ומשאבת מחזור חומצה הידרוכלורית, ויכולה לספוג את גז המימן כלורי הנפלט עקב התאמת עומס או פריקת חירום של המכשיר על ידי מים. המערכת שומרת על פעולה רציפה ויכולה לקלוט ולספוג גז מימן כלורי הנפלט מהמכשיר בכל עת.

על מנת להבטיח את הבטיחות, תהליך העבודה כולל מערכת לעיבוד גזי פליטה המכילים כלור, המורכבת בעיקר ממגדל לעיבוד גזי פליטה, מיכל מחזור נוזלים אלקליים, משאבת מחזור נוזלים אלקליים ומקרר למחזור נוזלים אלקליים. במידת הצורך, ניתן לשלוח את הכלור במיכל הבופר של הכלור ובצינור למגדל טיפול בגזי הפליטה, וניתן לשטוף ולהסיר את הכלור באמצעות תמיסת נתרן הידרוקסיד מימית. מערכת טיפול בגזי הפליטה מתוחזקת בפעולה רציפה על מנת להבטיח קליטה וטיפול של גזים המכילים כלור בכל עת.

תהליך סינתזת טריכלורוסילאן

אבקת הסיליקון, חומר הגלם, מושעית ומופרשת לתוך מיכל קבלת אבקת הסיליקון דרך מיכל פריקת אבקת הסיליקון. אבקת הסיליקון מוכנסת למיכל האמצעי התחתון מהמיכל המקבל, הגז במיכל מוחלף במימן כלורי חם ומקבל דחיפה לאיזון עם הלחץ במיכל התחתון, ואבקת הסיליקון מוכנסת למיכל אספקת אבקת הסיליקון התחתון. אבקת הסיליקון במיכל ההזנה מוזנת לצינור ההזנה של תנור הסינתזה של טריכלורוסילאן באמצעות מזין כוכבים המותקן בתחתית מיכל ההזנה.

מימן כלורי מתהליך סינתזת המימן כלורי מעורבב עם מימן כלורי במחזור הדם ממיכל הבופר של מימן כלורי במחזור הדם, לאחר מכן מימן כלורי מוכנס לצינור ההזנה של תנור סינתזת הטריכלורוסילאן, אבקת הסיליקון בצינור ההזנה נישא ומועברת ממיכל הזנת אבקת הסיליקון, ואבקת הסיליקון נכנסת לתנור סינתזת הטריכלורוסילאן מלמטה.

בכבשן סינתזה של טריכלורוסילאן, אבקת סיליקון וגז מימן כלורי יוצרים מצע רותח ומגיבים ליצירת סיליקון טריכלורוהידרוגן, ובמקביל נוצרים תוצרים כגון סיליקון טטרכלוריד, סיליקון דיהידרוגן כלוריד, מתכת כלוריד, פוליכלורוסילאן וגז מימן, והגז המעורבב נקרא גז סינתזה של סיליקון טריכלורוהידרוגן. התגובה הייתה אקסותרמית. הדופן החיצונית של הכבשן הסינתטי מצוידת במעיל מים, והמים במעיל סופגים את החום כדי לשמור על טמפרטורת דופן הכבשן.

הגז הסינתטי עם אבקת סיליקון ממוקם על גבי תנור הסינתזה, לאחר שחלק מאבקת הסיליקון מוסר על ידי מערכת להסרת אבק יבש המורכבת מאספן אבק ציקלון תלת-שלבי, אבקת הסיליקון נשלחת למערכת להסרת אבק רטוב, ונוזל הסיליקון הטטרכלוריד נשטף, וחלק מאבק הסיליקון הדק בגז נשטף.

במקביל, מימן רטוב נכנס למגע עם הגז, וחלק מתחמוצת המתכת הכלולה בגז עובר הידרוליזה ומוסר. הגז המעורב, המטוהר על ידי הסרת אבקת הסיליקון, נשלח לתהליך הפרדה יבשה של גז סינתזה.

תהליך הפרדה יבש של גז סינתטי

גז הסינתזה משלב סינתזת המימן של טריכלורוסילאן מופרד לנוזל כלורוסילאן, גז מימן וגז מימן כלורי בשלב זה וממוחזר לשימוש במכשיר.

זרם הגז הסינתטי של טריכלורוסילאן עובר דרך מיכל חיץ גז מעורב, לאחר מכן נכנס למגדל שטיפת ריסוס, ונשטף על ידי נוזל הכלורוסילאן בטמפרטורה נמוכה תחת הזרימה העליונה של המגדל. רוב הכלורוסילאן בגז מתעבה ומעורבב בנוזל השטיפה. הכלורוסילאן בתחתית המגדל מופעל על ידי משאבה, רוב הכלורוסילאן מוזרם חזרה לראש המגדל לאחר קירור וקירור לשטיפת גז, והכלורוסילאן הנותר נשלח למגדל ניתוח מימן כלורי.

רוב גז הכלורוסילאן מוסר מראש מגדל הריסוס והשטיפה, נדחס על ידי מדחס גז מעורב, מקורר ומקורר, נשלח למגדל ספיגת מימן כלורי, נשטף על ידי נוזל הכלורוסילאן אשר מקורר ומקורר ונשלח מתחתית מגדל ניתוח המימן כלורי, רוב המימן הכלורי בגז נספג על ידי הכלורוסילאן, ורוב הכלורוסילאן שנותר בגז נשטף ומעובה. הגז העליון של המגדל הוא גז מימן המכיל עקבות של מימן כלורי וכלורוסילאן, וגז המימן בעל טוהר גבוה מתקבל לאחר שהמימן כלורי והכלורוסילאן מוסרים עוד יותר על ידי קבוצת סופחים בעלי שינוי טמפרטורה ולחץ. המימן זורם דרך מיכל בופר המימן, ולאחר מכן חוזר לתהליך סינתזת המימן כלורי כדי להשתתף בתגובת סינתזת המימן כלורי. גז הפליטה המחודש של הספיחה מכיל מימן, מימן כלורי וכלורוסילאן, ונשלח לתהליך טיפול בגזי הפליטה לצורך טיפול.

סילאן הכלור המומס עם גז מימן כלורי בתחתית מגדל ספיגת מימן כלורי בפריקת הגז מחומם, לאחר מכן משולב עם עודפי סילאן הכלור מתחתית מגדל שטיפת הריסוס, לאחר מכן נשלח לחלק האמצעי של מגדל ניתוח מימן כלורי, וגז מימן כלורי המטוהר מתקבל בראש המגדל באמצעות פעולת זיקוק דקומפרסיה. גז מימן כלורי של המגדל זורם דרך מיכל הבופר של מימן כלורי, ולאחר מכן נשלח למיכל הבופר של מימן כלורי במחזור המסודר בתהליך הסינתזה של טריכלורוסילאן; תחתית המגדל מסירה את מימן כלורי כדי לקבל את נוזל הכלורוסילאן המחודש, שרובו נשלח בחזרה למגדל ספיגת מימן כלורי לאחר קירור, הקפאה וקירור לשימוש כחומר סופג, ונוזל הכלורוסילאן העודף (כלומר הכלורוסילאן המופרד מגז הסינתזה של טריכלורוסילאן) נשלח למיכל אחסון הכלורוסילאן של חומר הגלם בשלב אחסון הכלורוסילאן לאחר קירור.

תהליך הפרדה וטיהור של כלורוסילאן

נוזל הכלורוסילאן המופרד בשלב ההפרדה היבשה של גז הסינתזה מוזן למיכל אחסון כלורוסילאן של חומר הגלם של שלב אחסון הכלורוסילאן. נוזל הכלורוסילאן המופרד בשלב ההפרדה היבשה של גז זנב החיזור נשלח למיכל אחסון כלורוסילאן לחיזור בשלב אחסון הכלורוסילאן; נוזל הכלורוסילאן המופרד בשלב ההפרדה היבשה של גז הידריד מוזן למיכל אחסון הידרוכלורוסילאן בשלב אחסון הכלורוסילאן. חומר הגלם נוזל הכלורוסילאן, נוזל הכלורוסילאן המחזר ונוזל ההידרוכלורוסילאן נשאבים בהתאמה על ידי משאבה ונשלחים למגדלי יישור שונים של תהליך ההפרדה והטיהור של הכלורוסילאן.

תהליך חיזור מימן בסיליקון טריכלורוהידרוגן

הטריכלורוסילאן שעבר זיקוק בתהליך ההפרדה והטיהור של הכלורוסילאן מוזן לתוך מכשיר אידוי הטריכלורוסילאן של התהליך, ומחומם ומתאדה על ידי מים חמים; גז המימן המסתובב המוחזר מתהליך ההפרדה היבשה של צמצום גז הזנב זורם דרך מיכל חיץ מימן, וגם מוזן לתוך מכשיר אידוי ליצירת גז מעורב עם אדי טריכלורוסילאן ביחס מסוים.

הגז המעורבב של הטריכלורוסילאן והמימן ממאייד הטריכלורוסילאן נשלח לכבשן חיזור. על פני ליבת הסיליקון/מוט הסיליקון החם, אשר מחושמל בכבשן החיזור, מתרחשת תגובת חיזור מימן לטריכלורוסילאן, וסיליקון נוצר ומשקע, כך שקוטר ליבת הסיליקון/מוט הסיליקון גדל בהדרגה עד להגעה לגודל שנקבע. תגובת חיזור המימן מייצרת סיליקון דיהידרוגן כלוריד, סיליקון טטרכלוריד, מימן כלוריד ומימן בו זמנית, והם נשלחים לכבשן חיזור יחד עם הסיליקון הטריהידרוגן כלוריד והמימן שלא הגיבו, מקוררים על ידי מי הקירור המסתובבים של מצנן גז זנב החיזור, ולאחר מכן נשלחים ישירות לתהליך ההפרדה היבש של גז זנב החיזור.

המים החמים מוכנסים לתוך מעיל חבית תנור ההפחתה כדי להסיר את החום המוקרן מליבת הסיליקון החם בכבשן אל הדופן הפנימית של חבית הכבשן ולשמור על טמפרטורת הדופן הפנימית של חבית הכבשן. המים החמים בטמפרטורה גבוהה של מעיל גליל הפריקה נשלחים לתהליך עבודה של שחזור אנרגיית חום, ולאחר שהקיטור מופק על ידי דוד חום הפסולת ומקרר, המים החמים ממוחזרים לשימוש על ידי כל מעיל תנור הפחתה בתהליך העבודה.

לאחר התקנת ליבת הסיליקון בכבשן החיזור, משאבת ואקום סילון מים משמשת לשאיבת הוואקום לפני ההפעלה, החנקן משמש להחלפת האוויר בכבשן, המימן משמש להחלפת החנקן בכבשן (החנקן נשלל), ולאחר מכן מתבצעת פעולת החימום. לכן, החנקן משוחרר לאוויר הסביבה בשלב ההנעה, ונדרשת כמות קטנה של מים למשאבת הוואקום (אותה ניתן לשחרר כמים נקיים); בשלב כיבוי ופתיחת הכבשן (כ-5-7 ימים בפעם אחת), הגז המעורבב המכיל כלורוסילאן, מימן כלורי ומימן בכבשן החיזור נלחץ תחילה לתוך מערכת המחזור היבשה של גז הזנב המחזר לצורך השבתו באמצעות גז מימן, לאחר מכן גז החנקן מוחלף ואז נשלל, תוצר הפוליסיליקון מוציאים, אלקטרודת הגרפיט הפסולת מוסרת, והמים הטהורים במיוחד בכבשן נשטפים בהתאם למצב, לכן, גז החנקן, הגרפיט הפסולת ומי הניקיון נוצרים בשלב כיבוי הכבשן. גז החנקן הוא גז לא מזיק, לכן, בנסיבות רגילות, כבשן החיזור פתוח ובשלב העצירה אין פליטת גז מזיק. פסולת הגרפיט ממוחזרת ממפעל הייצור המקורי, ושפכי הניקוי נשלחים למערכת הטיפול בשפכים חומציים-אלקליים המכילים כלוריד לטיפול.

תהליך הפרדה יבש להפחתת גז זנב

גז הזנב של החיזור משלב חיזור המימן של הטריכלורוסילאן מופרד לנוזל כלורוסילאן, מימן וגז מימן כלורי דרך השלב, וגז הזנב ממוחזר בהתאמה לשימוש במכשיר.

העיקרון והתהליך של הפרדה יבשה של גז זנב מחזר דומים מאוד לאלה של הפרדה יבשה של טריכלורוסילאן. המימן בעל טוהר גבוה המתקבל מיציאת הסופח המשתנה בטמפרטורה ובלחץ זורם דרך מיכל בופר המימן, ורוב המימן מוחזר לתהליך חיזור המימן של סיליקון טריכלוריד כדי להשתתף בהכנת פוליסיליקון, והמימן העודף נשלח לתהליך ההידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד כדי להשתתף בהידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד; הסופח משחזר את גז הפליטה ושולח אותו לתהליך טיפול בגזי הפליטה לצורך טיפול; גז המימן כלורי המטוהר מתקבל מראש מגדל ניתוח המימן כלורי ונשלח למיכל בופר מימן כלורי במחזור המסודר בתהליך סינתזת הסיליקון טריכלוריד; נוזל הכלורוסילאן הנוסף (כלומר כלורוסילאן המופרד מגז הזנב של חיזור המימן טריכלוריד) המופק מתחתית מגדל ניתוח המימן כלורי נשלח למיכל אחסון כלורוסילאן מופחת בשלב אחסון הכלורוסילאן.

תהליך הידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד

הסיליקון טטרכלוריד המזוקק, שעובר תהליך ההפרדה והטיהור של כלורוסילאן, מוזן לתוך מכשיר אידוי הסיליקון טטרכלוריד של התהליך, ומחומם ומתאדה על ידי מים חמים. המימן מתהליך הכנת המימן והטיהור והמימן העודף מתהליך ההפרדה היבשה של גז זנב החיזור מעורבבים במיכל חיץ מימן, ולאחר מכן המימן מוכנס גם הוא לתוך מכשיר אידוי ליצירת יחס מסוים של גז מעורב עם אדי הסיליקון טטרכלוריד.

הגז המעורב של סיליקון טטרכלוריד ומימן ממאייד הסיליקון טטרכלוריד נשלח לכבשן ההידרוגנציה. תגובת ההידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד מתרחשת ליד פני השטח של האלקטרודה החמה, אשר עוברת חשמל בכבשן ההידרוגנציה, כך שייווצרו בו זמנית סיליקון טריכלורוהידריד ומימן כלורי. הגז המעורב המכיל טריכלורוסילאן, מימן כלורי, סיליקון טטרכלוריד שלא הגיב ומימן נשלח לתהליך הפרדת מימן יבשה.

מים חמים מוכנסים לתוך מעיל קנה הכבשן של תנור ההידרוגנציה כדי להסיר את החום המוקרן מהאלקטרודה החמה בתנור אל הדופן הפנימית של קנה הכבשן ולשמור על טמפרטורת הדופן הפנימית של קנה הכבשן. המים החמים בטמפרטורה גבוהה של מעיל גליל הפריקה נשלחים לתהליך עבודה של שחזור אנרגיית חום, ולאחר שהקיטור מופק על ידי דוד חום הפסולת וקורר, המים החמים ממוחזרים חזרה למעיל תנור ההידרוגנציה של תהליך העבודה.

תהליך הפרדה יבשה בגז הידרוגנציה

גז המימן מתהליך ההידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד מופרד לנוזל כלורוסילאן, גז מימן וגז מימן כלורי בתהליך, וגז המימן ממוחזר בהתאמה לשימוש במכשיר.

העיקרון והתהליך של הפרדה יבשה של גז מימן דומים מאוד לאלה של הפרדה יבשה של טריכלורוסילאן. המימן בעל הטוהר הגבוה המתקבל מיציאת הסופח המשתנה בטמפרטורה ובלחץ מוחזר לתהליך ההידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד כדי להשתתף בהידרוגנציה של סיליקון טטרכלוריד לאחר שעבר דרך מיכל חיץ המימן; גז הפליטה המחודש שנספג נשלח לתהליך טיפול בגזי הפליטה; גז המימן כלורי המטוהר מתקבל מראש מגדל ניתוח המימן כלורי ונשלח למיכל חיץ מימן כלורי במחזור המסודר בתהליך סינתזת הסיליקון מימן טריכלוריד; נוזל הכלורוסילאן העודף (כלומר כלורוסילאן המופרד מגז ההידריד) המופק מתחתית מגדל ניתוח המימן כלורי מוזן למיכל אחסון ההידרוכלורוסילאן של שלב אחסון הכלורוסילאן.

תהליך אחסון כלורוסילאן

מיכלי האחסון הבאים מסודרים בתהליך: מיכל אחסון כלורוסילאן בנפח 100 מ"ק, מיכל אחסון טריכלורוסילאן בדרגה תעשייתית בנפח 100 מ"ק, מיכל אחסון טטרכלורוסילאן בדרגה תעשייתית בנפח 100 מ"ק, מיכל פריקה חירום של כלורוסילאן בנפח 100 מ"ק וכו'.

נוזל הכלורוסילאן המתקבל משלב ההפרדה היבשה של גז הסינתזה, שלב ההפרדה היבשה של גז הזנב של החיזור ושלב ההפרדה היבשה של גז ההידרוגנציה מוזן בהתאמה למיכל אחסון של חומר גלם, מיכל חיזור ומיכל אחסון של הידרוכלורוסילאן, ולאחר מכן נוזל הכלורוסילאן מוזן בהתאמה כחומר גלם למגדלי יישור שונים של שלב ההפרדה והטיהור של הכלורוסילאן.

הנוזל המעורבב של טריכלורוסילאן ודיכלורודיהידרוסיליקן המתקבל בחלק העליון של מגדל היישור בשלב הראשון בתהליך ההפרדה והטיהור של כלורוסילאן, נוזל הטריכלורוסילאן המתקבל בתחתית מגדל היישור בשלב הרביעי ונוזל הטריכלורוסילאן המתקבל בתחתית מגדל היישור בשלב השישי, מגדל היישור בשלב השמיני ומגדל היישור בשלב העשירי נשלחים למיכל אחסון טריכלורוסילאן ברמה תעשייתית, והנוזל מעורבב במיכל ונמכר כמוצרי טריכלורוסילאן ברמה תעשייתית.

תהליך הכנת ליבת הסיליקון

טכנולוגיית שרטוט וחיתוך אזוריים של תנור מאומצת לעיבוד והכנת ליבת הסיליקון המוליך, אשר יש להתקין בכבשן במהלך הייצור הראשוני של תנור החיזור. בתהליך הכנת ליבת הסיליקון, יש צורך להחליד את ליבת הסיליקון באמצעות חומצה הידרופלואורית וחומצה חנקתית, לאחר מכן ניקוי ליבת הסיליקון באמצעות מים אולטרה-טהורים, ולאחר מכן ייבוש ליבת הסיליקון. מימן פלואוריד וגז תחמוצת החנקן ייפלטו לאוויר במהלך תהליך הטיפול בקורוזיה חומצית, ולכן המאוורר משמש לשאיבת אוויר מימן פלואוריד ותחמוצת החנקן דרך כיסוי הרוח המכוסה בחלקו העליון של מיכל הטיפול בקורוזיה חומצית, ולאחר מכן הגז נשלח למכשיר טיפול בגזי פליטה לטיפול, וגז הפליטה נפלט בהתאם לתקנים.

פעולת מיון מוצרים

מוט הפוליסיליקון שנוצר בכבשן החיזור מוסר מהכבשן, נחתך ונשבר לפוליסיליקון מסיבי. גוש הפוליסיליקון עבר קורוזיה על ידי חומצה הידרופלואורית וחומצה חנקתית, לאחר מכן נוקה במים אולטרה-טהורים, ולאחר מכן יובש. מימן פלואוריד וגז תחמוצת החנקן ייפלטו לאוויר במהלך תהליך הטיפול בקורוזיה חומצית, ולכן המאוורר משמש לשאיבת אוויר מימן פלואוריד ותחמוצת החנקן דרך כיסוי הרוח המכוסה בחלקו העליון של מיכל הטיפול בקורוזיה חומצית, ולאחר מכן הגז נשלח למכשיר טיפול בגזי פליטה לטיפול, וגז הפליטה משוחרר בהתאם לתקנים. מוצר פוליסיליקון בתפזורת שזוהה כעונה על מדד איכות מוגדר מסופק לאריזה.

תהליך טיפול בגזי פליטה ובשאריות

1. טיהור גזי פליטה המכילים מימן כלורי

גזי הפליטה הנפלטים בתהליך טיהור SiHCl1, כיבוי תנור החיזור, פליטה מקרית של גזי פליטה, גז פליטה בטוח ממיכל תהליך האחסון של הכלורוסילאן והמימן כלורי, וגז פליטה של ​​CDI נשלחים כולם למגדל שטיפת גזי הפליטה באמצעות צינורות לצורך שטיפה.

לאחר שטיפה רציפה של גז הפליטה על ידי 10% NaOH ממגדל השטיפה, נוזל השטיפה בתחתית המגדל נשאב אל תהליך עיבוד הפסולת הטכנולוגית, וגז הזנב משוחרר באמצעות גליל פליטה בגובה 15 מטר.

2. טיפול בשאריות

נוזל שיורי הכור, המכיל בעיקר סיליקון טטרכלוריד ותרכובות פוליכלורוסילאן, ונוזל שיורי הכלורוסילאן המשתחרר ממגדל היישור ומשתחרר על ידי התקן העצירה, נשלחים לתהליך לטיפול.

הנוזל המיועד לטיפול מוזן למיכל איסוף שאריות. לאחר מכן הנוזל נדחס החוצה באמצעות גז חנקן ונשלח למגדל שטיפת נוזלים שיוריים לצורך שטיפה. נעשה שימוש בסודה קאוסטית של 10% NaOH לטיפול. כלורוסילאן בנוזל הפסולת מגיב עם NaOH ומים והופך לחומרים לא מזיקים (עקרון הטיפול הוא טיפול בגז פליטה המכיל מימן כלורי וכלורוסילאן).

3. גז פסולת חומצי

גז הפליטה החומצי הנוצר בתהליך הכנת ליבת הסיליקון וגימור המוצר נשאב למערכת עיבוד גזי הפליטה דרך כיסוי איסוף גז. גז הפליטה החומצי נשטף בחלב סיד 10% במגדל ריסוס כדי להסיר את גזי הפליטה המכילים פלואור מהגז, ובמקביל מוסיפים אמוניה לנוזל השטיפה כדי להפחית את רוב ה-NOx ל-N2 ו-H2O. לאחר ייבוש הלחות של הגז לאחר השטיפה, ה-NOx הנותרים בגז נספגים על ידי סופח ה-SDG באמצעות שיטת ספיחה מוצקה (לקיחת מתכת לא אצילה כזרז), ולאחר מכן נפלטים על ידי גליל פליטה בגובה של 20 מטר.

טיפול באבקת סיליקון בפסולת

אבקת הסיליקון הנפלטת מאספן אבק לטעינת אבקת סיליקון חומרי גלם, מאספן אבק ציקלון של סדנת סינתזת סיליקון טריכלורוהידריד ומכור סינתזה מועברת למשפך סיגי פסולת דרך מיכל הובלת סיגי פסולת, נכנסת לצינור שטיפת חומצה עם מערבל, מעביר את אבקת הסיליקון הפסולת (אבק) דרך חומצה הידרוכלורית 11%, וממיסה זיהומים כגון אלומיניום, ברזל וסידן בסיליקון הפסולת. לאחר סיום השטיפה, שאריות הפסולת מסוננות באמצעות מכבש סינון, נשלחות למייבש לייבוש, אבקת הסיליקון היבשה מוחזרת למחזור הסינתזה של טריכלורוסילאן לשימוש, ונוזל הפסולת נאסף למי השפכים של מערכת טיפול בשאריות גזי פסולת ומטופל יחד.

גז הפליטה המכיל HCl הנפלט ממיכל הכבישה וממיכל התסנין נשלח למערכת טיפול בשאריות פליטה לצורך טיפול.

תהליך טיפול בפסולת תהליך

1. טיפול בנוזל פסולת מסוג III

נוזל הפסולת המכיל חומצה שטופל על ידי נוזל השטיפה של מגדל השטיפה ואבקת הסיליקון הפסולת מעורבב, מנוטרל ומשוקע בתהליך, ולאחר מכן מסונן על ידי מכבש סינון. שאריות הסינון (בעיקר SiO2) יועברו למפעל המלט לייצור מלט (ראה נספח). נוזל המשקע והתסנין הם בעיקר מי שפכים המכילים מלח בריכוז גבוה, המכילים NaCl 200 גרם/ליטר או יותר, חלק מהמים אינו מכניס יוני סידן-מגנזיום ויוני סולפט בתהליך ובטיפול, ואיכות המים עומדת בדרישות הייצור של כלור-אלקלי, כך שצינור השפכים המכיל מלח מועבר לקו הייצור של סודה קאוסטית של חברת Sichuan Yongxiang Co., Ltd. כחומר גלם לייצור למחזור (ראה נספח). מעובה האידוי משמש שוב ליצירת נוזל אלקלי.

2. טיפול בנוזל פסולת מסוג II

פסולת חומצה הידרופלואורית, פסולת חומצה חנקתית ושפכי שטיפת חומצה מתהליך הכנת ליבת הסיליקון ומתהליך גימור המוצר מנוטרלים ומשוקעים על ידי אמולסיית סיד 10%, מסוננים על ידי מכבש סינון, ושאריות הסינון (בעיקר CaF2) נשלחות למפעל מלט לייצור מלט (ראה נספח). תמיסת השיקוע והתסנין הם בעיקר תמיסת סידן חנקתי, ולאחר אידוי וריכוז, התמיסה נמכרת כתוצרי לוואי (ראה נספח). המעובה המתאדה משמש שוב ליצירת נוזל אלקלי.